混气PECVD设备

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KJ-T1200 PECVD 混气PECVD设备

型号
KJ-T1200 PECVD

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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事热处理产品的研发、生产与销售的。公司产品涵盖箱式马弗炉,管式电阻炉,真空炉,气氛炉,CVD系统,牙科炉,升降炉,轨道炉等,广泛用于粉末冶金、真空钎焊、陶瓷烧结、电池材料干燥、金属光亮处理、零部件退火、科学研究等多个领域。 十多年来,公司坚持以客户需求为导向,致力于不断提高产品品质和完善技术服务,凭借过硬的技术、丰富的实践积累,先后研发出了一系列具有水准的实验电炉和工业窑炉,并获得多项产品的。公司的产品和服务受到众多国内外客户的肯定与赞赏,产品远销到美国、德国,意大利,法国、俄罗斯,加拿大、英国、澳大利亚,土耳其、印度、巴基斯坦、伊朗、南非、巴西、泰国、新加坡等三十多个国家和地区。 科佳电炉拥有完整、科学的质量管理体系,标准化的生产制造车间,具有年产1000台电炉生产制造能力,生产规模位居,是国内具有影响力的实验电炉、工业窑炉生产制造商。公司被评为,并联合多所重点科研院校共同建立了多个技术研发项目,为每一位客户提供高技术含量的产品解决方案和优质的服务! 郑州科佳电炉有限公司的诚信、产品品质和售前售后服务已获得业界的广泛认可,公司将继续秉承以诚信广交天下朋友,以品质赢取市场的理念,真诚希望与各界朋友,携手共进,合作共赢!

详细信息

产品描述:
    KJ-T1200 PECVD 是一种 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)的管式炉系统,它由 500W 射频电源、带有 200毫米直径石英管的可拆分管式炉、真空泵和三通道质量流量计气体流动系统组成。它可以混合 1-3 种气体用于 CVD 或扩散。
 
产品参数:
 
型号KJ-T1200 PECVD
部分:标准件
等离子射频电源
 
输出功率5 -500W可调,均匀性 ± 1%
RF频率13.56 MHz ±0.005%
反射功率 200W
射频输出端口50 Ω,N型
噪音<50 dB.
冷却空气冷却
管式炉部分
 
显示LED
形式分体式和上部可打开
连续工作温度≤1100℃
升温速率建议:0~10℃/min(20℃/min)
温区长度500mm
加热元件含钼电阻丝
热电偶K型
温度均匀性±1℃
炉管尺寸200m外径 X 长度1600mm
材质:石英管 
温度控制通SCR功率控制进行 PID 自动控制
加热曲线30步可编程
法兰不锈钢带阀真空法兰 
电压380V, 50 Hz, 三相 20KW
真空泵
 
旋片真空泵
流量:4L/S
旋片式真空泵将设计成带轮的推车。
质量流量计三款精密质量流量计:
MFC 1:气体流量范围为 0~100 sccm
MFC 2:气体流量范围为 0~100 sccm
MFC 3:气体流量范围从 0~100 sccm
(或根据您的要求)
底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装3个不锈钢针阀,手动控制3种气体混合
 
数字真空计皮拉尼数字真空计 
 
 

 
 
 
 
 
 
 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

 

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