UP10M工业用超高纯气体纯化器

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UP10M工业用超高纯气体纯化器

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亿诚恒达科技有限公司(YCHD) 创建于2009年,是集测试测量、研发、生产、销售、服务为一体的高科技公司,亚太区总部位于中国香港。并分别在北京、福州设有全资分公司、办事处。 亿诚恒达YCHD致力于代理和应用进成熟的电化学测试测量仪器及技术、材料表面形貌分析设备及检测技术、材料性能检测设备及断裂疲劳试验技术。 同时与国内外研发机构合作研究开发高精密测试测量技术及设备定制。 亿诚恒达YCHD 公司主要业务有两部分: 一部分为国外高科技分析测试仪器及高技术试验设备在中国大陆及香港地区的代理推广。所代理推广的分析测试测量产品的主要应用领域包括:电池、腐蚀、燃料电池、涂层、镀膜、太阳能、传感器、超级电容器、电子、微生物、新型材料等。产品主要应用于高等院校、科研机构、航空航天、汽车制造、半导体材料领域的研发与生产。 一部分为代理进出口业务:公司拥有国际贸易和商务物流管理专业人才,可为广大客户提供高效的代理进出口、免税手续、报关、运输、保险、商检等服务。也可提供国际贸易等方面商务咨询服务。 有各大国际品牌机构的技术支持,汇集有行业的精英技术团队,负责产品及方案设计、生产制造、售前售后服务、技术支持和应用培训等等。公司的业务领域广泛,但服务宗旨恒一,即不断的改善管理、坚持服务质量和真诚周到服务。 有广大用户的支持,我们相信亿诚恒达YCHD一定能不断为大家提供有高价值的产品。 亿诚恒达YCHD高度重视人才的培养与引进,公司管理层具有多年的仪器行业从业经验和丰富的科技企业管理经验,服务团队人员技术扎实、经验丰富。亿诚恒达YCHD同时具有强大的凝聚力,把员工团结在一个和谐、相互信任、相互帮助、相互尊重、充满活力的集体中。在亿诚恒达YCHD每个员工都能获得个人的成长与发展机会,公司愿与每一个员工共同成长壮大! 公司本着“品质、专注 、诚信、务实”的经营理念,已经为国内许多用户提供了*的仪器设备,专业的技术咨询和完善的售后服务。

详细信息

超高纯气体纯化技术是有色金属研究总院“十三五”重点产业化方向。在“十二五”期间项目科研成果基础上研发的气体纯化材料,具有处理量大、去除杂质种类多、吸附深度大、使用寿命长等优点,并以此为核心技术开发出多个型号的惰性气体、氢气和氮气等超高纯气体纯化装置。同时,有研总院自身具备不断创新的研发能力,成套的纯化材料生产、纯化器组装技术,以及完善的纯化器性能测试条件,可根据用户需求设计完整解决方案、定制非标产品,并提供各项性能检测服务,目前产品已应用于理化所、、西南化工研究设计院、北京师范大学、北京航空航天大学、北京科技大学、国家有色金属材料检测中心,哈尔滨师范大学等单位获得应用。
UP10M工业用超高纯气体纯化器采用活性金属为化学吸附剂,当原料气通过活性金属纯化床时,气体中O 2,H2O,N2,CO,CO2,CH4等杂质气体与活性金属发生化学吸附反应,根据原料气纯度不同,一次纯化后出口气体纯度即达到 7N-8N,可实现无人值守全自动运行,并具有实时监测、故障报警和反馈等功能。为保证产品质量,纯化器系统管路连接全部采用 Swagelok 全自动轨道焊机焊接,漏率低于 109 Pa;关键部件焊接、组装、生产均在千级超净环境中进射流冲蚀试验机便于在各种条件下测定的磨损率。磨损率可 以用来确定在给定操作条件的材料。它也可以被用来预测使用寿命和寿命周期成本。
 
UP系列气体纯化器
                        
                 UP1L                                                                          UP10M
 
 

委托上海正帆科技公司对 GRINM-UP1L 氩气纯化器性能检测结果
 
气体类型 H2 O2/Ar N2 CH4 CO CO2 H2O 单位
原料气 0.074 <0.01 0.248 <0.01 <0.01 <0.01 未测试 ppm
纯化后 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.033 ppm
 
部分用于现场照片
 

 
山西中升钢厂光谱仪配套UP10M使用现场,分析用气体纯度达到光谱仪检测所需的的绿色。
 
 
 
北京科技大学CVD设备用的多台UP1L氩气纯化器
 
 
 
             西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氩气纯化器
 
 


搭载氢气纯化的电解水制氢/在线纯化系统,用于人造钻石生产高纯氢场合
 

UP10M工业用超高纯气体纯化器产品参数:
l  原料气纯度要求:≥99.999%,He/Ar/H2 /N2
l  产品气纯度:≥99.99999%
l  产品气杂质含量:
H2O ≤5ppb
O2 ≤10ppb
N2 ≤10ppb(原料气非 N2
H2 ≤10ppb(原料气非 H2
CO ≤10ppb
CO2 ≤10ppb
CH4 ≤10ppb
NMHC ≤10ppb
l  工作流量:≤10Nm3 /h,可定制2-30Nm3 /h
l  阀门:EP 级气动隔膜阀
l  内置颗粒过滤器:2 微米
l  显示屏:组态控制软件,触摸屏工业计算机控制
l  工作压力:2.0MPa,氩气可定制20兆帕高压
l  出入口气体压差:0.2MPa
l  进出气接口:1/4″VCR
l  纯化柱及管路:EP级316不锈钢
l  管路连接:Swagelok 自动轨道焊接
l  电源电压及功率:220V-380V,10-20kw
l  产品外形尺寸:500×700×1600mm
 
气体纯化器是集成电路、LED、太阳能板、光纤、燃料电池等制造工艺中的重要装备,并可有效提高离子溅射、薄膜生长、焊接、配气等多项技术的工艺性能。UP10M 工业用超高纯气体纯化器系列主要用于提供工业生产、分析测试中的超高纯度工艺气、保护气等,也是气体配制行业的关键设备之一。
气体种类 产品用途 应用领域
He 稀释气纯化 半导体制造业中光刻、干刻、化学气相沉积工艺中混合气
Ar 等离子体气体、载气纯化 半导体制造业中干刻蚀、离子注入等 工艺中等离子体气体,直读光谱仪载气
N2 稀释气、检漏气纯化 半导体制造业中稀释氧化工艺、气体浓度调节、检漏气体
H2 还原气、反应气纯化 IC、LED 等制造业中外延工艺和扩散工艺气体
 






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