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热式气体质量流量控制器
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特性:LFMFC产品采用单电源供电(12~24VDC);
可以连二次仪表显示;具有多气体多量程,高精度,极低零漂,软起动功能及强.
1、 输出方式:外部 0~5VDC 4~20 mA ;
LFMFC数字型质量流量控制器主要指标:
流量规格(N2): (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM;
(10、50、100 ,200,500,700)SLM
准确度: ±1%F.S.
线性: ±0.5%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
响应时间: ≤1Sec
工作压差范围: (0.05~0.3)MPa
耐压: 10Mpa
工作环境温度: 5~65℃
电气连接: 8 针(小型圆插头)外形尺寸:132*28*85mm
输入/输出信号 Digital:; Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
电源: 12~24VDC ;1A
标准接头: 10,12mm双卡套