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OPTM 系列 显微分光膜厚仪
- 型号
- OPTM 系列
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北京卓立汉光仪器有限公司成立于1999年，是国内精密光学仪器和精密机械运动与控制技术产品的供应商之一，致力于为广大光电行业从业者提供针对性的产品及解决方案。 目前公司的位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化,已广泛应用于国内高等院校和激光加工设备厂商等生产型企业用户单位中。自2000年通用型三光栅光谱仪量产后，公司持续推出多个系列的荧光、拉曼、太阳能电池检测等光谱测量系统，同样在上述用户群体中收到欢迎。成立20年来，卓立汉光始终坚持研发创新、快速反应和优质服务的经营理念，取得了稳步发展。目前其在国内拥有300多名员工，在上海、深圳、成都、西安设立分公司，在法国、波兰、韩国等国家拥有合作关系良好的代理商，构建了覆盖主要市场的行销网络。
详细信息
产品概述
OPTM 系列显微分光膜厚仪
头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高精度反射率（多层膜厚度，光学常数）
1点1秒高速测量
显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外）
区域传感器的安全机制
易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义
OPTM 系列显微分光膜厚仪选型表
| OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
|---|---|---|---|
| 波長范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
| 膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
| 测定时间 | 1秒 / 1点 | ||
| 光斑大小 | 10μm (*小约5μm) | ||
| 感光元件 | CCD | InGaAs | |
| 光源規格 | 氘灯+卤素灯 | 卤素灯 | |
| 电源規格 | AC100V±10V 750VA（自动样品台规格） | ||
| 尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分) | ||
| 重量 | 约 55kg（自动样品台规格之主体部分） | ||
测量项目：
反射率测量
多层膜解析
光学常数分析（n：折射率，k：消光系数）
测量示例：SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚测量
半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号，但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的电流流过任意路径，有必要隔离晶体管，埋入绝缘膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于绝缘膜。 SiO 2用作绝缘膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介电常数的绝缘膜，或是作为通过CMP去除SiO 2的不必要的阻挡层。之后SiN也被去除。 为了绝缘膜的性能和精确的工艺控制，有必要测量这些膜厚度。
