二 数字激光平面干涉仪技术参数：
平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
准直系统工作直径Φ400mm，焦距 f = 400mm
连续变倍放大干涉图：不小于6倍
光源规格激光ZN18(He-Ne) 波长632.8nm
数据采集分辨力：800*600
干涉室尺寸：Φ580×380×285mm
标准参考面，采用石英材料制成的平面标准镜，精度为一级平晶
三、PSI干涉条纹分析系统（选配）
1． 计算机：
目前是联想商用机。
2． 输出数据：
(1) 峰谷值（PV）、标准偏差（RMS）、二维等值图（等高图）、三维立体图、任意位置剖面图，图形可以自由放大、旋转；
(2) Zernike多项式；
(3) 数据可保存、可输出打印测试报告，具有数据库管理系统；
(4) 开放数据输出格式，方便后续分析；
3． 测量功能
(1) 系统在WINDOWS2000、XP下运行，允许进行网络数据传输；
(2) 测量区域的确定，可提供圆、矩形、椭圆等基本形状及其组合；允许在区域中扣除非测量区域；
(3) 具有干涉图像边界自动判读功能（也可根据直方图分析进行人工干预），方便测试不规则件；
(4) 具有干涉图亮度软件调节机制，可通过软件面板进行所有干涉仪内部电气操控；
(5) 倾斜、像散、等可以自动消除或人工设定消除，方便检测；
(6) 可选用的测试软件包*：
 光学材料均匀性测试
 楔板、楔角、直角棱镜的直角偏差
 屋脊角测试
 锥体棱镜两面角及综合波差测试
 平面检验
.  注*：部分功能需要配置特殊测试装置。
4． 提供软件升级、维护、售后技术支持及使用培训、硬件维修；

四、数字激光平面干涉仪安装、调试及验收
1． 到货后，需方准备好安装现场，由供方工程师到需方现场进行安装、调试和操作培训，合格后需方在验收合格证书上签字确认。
2． 仪器验收条件：仪器放置在工作稳定的光学平台上；环境温度符合国家标准（JJG28－2000）要求；无气流扰动。

3． 验收项目
a) 开箱按合同核对供货数量；
b) 仪器调试完毕后，根据技术协议验收仪器的主要精度指标。
c) 供方提供仪器出厂合格证明文件。

五、数字激光平面干涉仪技术指导
最终验收完成后，由供方工程师为需方技术人员、操作人员进行现场仪器使用技术指导（培训0.5-1个工作日）。内容包括：仪器的正确使用和操作，仪器的一般故障的排除和日常维护保养等。
六、仪器保修期
1． 仪器保修期为12个月，由最终验收合格需方签署验收合格证书之日起计算；
2． 保修期内，供方免费提供非人为因素故障维修服务，并免费更换件，保修期外，供方亦提供及时有偿服务。