台式匀胶机

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KWD型 台式匀胶机

型号
KWD型

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详细信息

产品介绍:

台式匀胶机用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂履,具有转速稳定和启动迅速等优点,保证涂胶厚度的一致性和均匀性。

技术参数:

参数:手动旋钮控制

基片尺寸φ200-φ600mm圆片、蕞大500x500mm2方片

转速:200-2000转/分

显示转速稳定度:±1%

旋涂均匀性±5%

匀胶工艺阶段:2段

匀胶时间:3-60s可调

电机功率:320W

仪器尺寸:980mmx855mmx855mm

适用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料

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