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KWD型 台式匀胶机
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产品介绍:
台式匀胶机用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂履,具有转速稳定和启动迅速等优点,保证涂胶厚度的一致性和均匀性。
技术参数:
参数:手动旋钮控制
基片尺寸φ200-φ600mm圆片、蕞大500x500mm2方片
转速:200-2000转/分
显示转速稳定度:±1%
旋涂均匀性±5%
匀胶工艺阶段:2段
匀胶时间:3-60s可调
电机功率:320W
仪器尺寸:980mmx855mmx855mm
适用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料