飞秒激光刻蚀机

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飞秒激光刻蚀机

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武汉元禄光电技术有限公司,是一家光电技术及应用研究开发的高科技激光设备制造商,公司依托华中科技大学光电子科学与工程学院雄厚的技术支撑,致力于激光微细加工技术及设备的研发和制造。公司专注于高品质微细精密激光切割、激光刻蚀、激光调阻、激光打孔、激光打标等产品研发与制造,公司现拥有紫外纳秒、绿光纳秒、红外纳秒、绿光皮秒等多种光源,拥有准直聚焦系统、振镜聚焦系统等多种光学平台,可配合客户参与研发。公司已开发出多项具有技术的激光设备,积累了丰富的激光定制设备制造经验,为诸多客户解决了生产效率的难题,并申请了包括多项激光核心技术在内的产品。公司一直以高科技、高质量为标准,为国内外广大客户提供了优质的激光设备和技术保障服务。我们的精密紫外激光切割、激光刻蚀、激光打孔、激光打标等产品已经覆盖到多个领域,尤其是在科研项目、消费电子、太阳能光伏行业尤为突出。公司依托的华中科技大学光电子科学与工程学院在光电技术领域强大的技术优势,使公司的紫外激光切割、刻蚀机、打标机成为国内激光集成设备的。公司产品有紫外激光切割机,PCB激光切割、分板机,FPC激光切割机,陶瓷/硅片激光切割机,玻璃激光切割机,超快激光微加工系统,IC芯片激光切割机,ITO/银浆/金属薄膜激光刻蚀机、紫外激光打标机、光纤激光打标机、CO2激光打标机等。公司专注于激光设备研发与制造领域,在工艺制造商我们积累了丰富经验,我们用专业的知识,高性能的设备,优质的服务回报客户。公司的经营理念:传承文明、自主创新;服务客户、用心用诚。公司的服务宗旨:客户在哪里,服务就在哪里;客户不满足,永远不放弃。

详细信息

太阳能钙钛矿电池激光刻蚀机,采用飞秒激光刻蚀设备适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉、铜、铝等导电金属、氧化物材料激光刻蚀。也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。

 

同时,适用于其他多层材料超细线宽激光刻蚀加工,如不锈钢网上的PI膜刻蚀、玻璃基材上PI膜刻蚀、不锈钢光栅划线等应用。

 

  

设备简介

设备采用固体激光器,激光波长1030nm,适合对导电玻璃与镀层进行精细刻线;采用自主研发的控制软件、直接导入CAD 数据进行激光刻蚀,操作简单,方便快捷;通过软件实时调节振镜与直线电机、电动升降工作台的设计,加上真空吸附托盘装置,能有效地解决激光刻蚀机在加工运行中的平稳性;采用除尘系统设计,能保证玻璃与工作平面的清洁,保证激光刻蚀过程中无残留。

 

设备集数控技术、激光技术、软件技术等光机电高技术于一体,具有高灵活性、高精度、高速度等*制造技术的特征。可大范围内进行各种图案,各种尺寸的精密、高速刻蚀,并且能够保证很高的产能,是一个可靠、稳定和具有高性能价格比的产品。

 

适用行业

玻璃、硅片、陶瓷、PET薄膜等基底上镀膜激光刻蚀,常用于触摸屏、光伏太阳能电池、电致色玻璃、调光玻璃、发光玻璃、其它显示屏等行业激光刻蚀加工。

 

整体说明

主要构成:激光器、光路系统、运动系统、控制系统、 定位系统、 抽尘系统、 真吸附空系统等组成。

 

主要技术参数

型号

ET1260-FF钙钛矿电池激光刻蚀机

激光器

飞秒、皮秒激光器,波长1030nm/532nm

纳秒激光器,波长1064nm

加工幅面

1200*600mm/600*500mm/500*400mm(可定制加工幅面)

聚焦光斑

<10μm

<20μm

激光器频率调节范围

20-5000KHz

100-500KHz

刻蚀最小线宽

<10 um

<20μm

(可以去除95%以上的氧化物镀层)

整机精度

±15μm

±20μm

最小线间距

<10μm

<20μm

工作台定位精度

±2um

工作台重复精度

±1um

CCD自动定位精度

±2um

刻蚀速度

<4000mm/s

设备尺寸

1950mmL×1700mmW×1960mmH(根据实际尺寸而定)

设备重量

3500kg

功率消耗

<3000W

可处理文件格式

标准CAD2004版DXF文件

 

注:根据实验室前期实验性阶段需要,武汉元禄光电针对性开发出了实验室阶段小型激光刻蚀机,适用于100*100mm以下导电玻璃激光刻蚀、划线应用,欢迎前来咨询了解。

 


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