质谱分析仪

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  • 工艺监控
  • TOOLweb 工艺和工艺腔环境监测
  • Vision 2000-B 真空本底残余气体分析仪
  • Vision 2000-C 化学气相沉积(CVD)工艺残余气体分析仪
  • Vision 2000-E 刻蚀(Etch)工艺残余气体分析仪
  • Vision 2000-P 物**相沉积(PVD)工艺残余气体分析仪
  • 200-300mm Resist-Torr 光刻胶检测器
  • HPQ3 高压残余气体分析仪, 主要用于PVD工艺气体检测



  • 大气压气体分析仪
  • Cirrus 2 四极质谱仪 工作在大气压力下的桌上型四极质谱仪,可用于在线测量和分析气体以及其体组成。


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