反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列-环保在线-手机站

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反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列

具体成交价以合同协议为准 2022-11-06

型号

HORIBA, Ltd.

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主营产品公司介绍

堀场集团向遍布各地的用户大量提供具有水平的分析仪器系统及系列产品。应用范围从汽车发动机尾气排放检测的研发到过程及环境监测，体外医疗检测，半导体制造和计量，以及范围广泛的科技研发和质量控制测量。实践证明，的质量和值得信赖的性能，赢得了广大用户对堀场公司品牌的广泛信任。

详细信息

概要
規格

概要

EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成，此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。

特征

适合高真空环境使用：不锈钢质本体
抗腐蚀
使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本体也可以提供
适合对于腐蚀性气体的使用

当排气端流量被调整到的位置：

抗蚀剂是以一层均匀的薄膜方式分布的
阻止了喷雾的次级沉积
阻止了危险水蒸气的扩散
此外，与流量传感器控制方式相比较而言，因抗蚀剂和其他污染物堆积对本产品造成的影响更小
此产品属于受日本法律管制的出口品（列于控制清单之上）。在从日本出口到海外或者供应给非日本企业前，必需从日本经济产业省的相关部门获得出口许可证件。

規格

Model EC-

5104

5105

5202

Compatible size

NW40

NW50

25 mm PTFE fitting

1 inch PTFE fitting

Materials at gas contact area

SUS316L, Fluoro rubber

PTFE, PEEK, Fluoro rubber

Conductance
(in vacuum area)

0.4 to 80L/s

0.6 to 200L/s

——

Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)

20L/min

25L/min

3L/min

* This product is subject to Japan's Export Control Law (i.e. on its control list). Before it is exported from Japan to overseas or supplied to non-residents, an Export License must be obtained from the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) of Japan.

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