1.1概述

水蒸气蒸发混合器是一种可以产生含水蒸汽混合气体的装置。它可以产生水蒸气与另外一路气体以任意比例混合的气体，且该气体的流量和温度皆可连续调节。适用于CEM3002、CEM3020和CEM3080等型号。

1.2 工作原理

1.2.1主机部分主机由1路气体流量计量模块、1路水蒸气计量蒸发模块、1个气体预热混合器和系统控制平台组成。水通过计量泵精确计量流量后进入蒸发器，并且得到蒸发。另外1路载气经过质量流量计计量流量后，与水蒸气在预热混合器中进行充分混合后输出。通过调节载气的流量和水泵的流量，可以调节混合气体中水的含量以及气体总流量。通过预热混合器可以调节控制混合器输出的问题。

1.2.2定制附件：主机与应用设备伴热连接当主机与应用设备距离较远时，可以定制一套伴热连接管路。它包含3个温控：1个电伴热管线温控以及2个管接头伴热温控。伴热管线是一体成型的，而管接头伴热采用方便拆卸的加热带。

1.3 参数指标

1.4 包装清单

1.5 设备接口

前方视图

背面视图

2.安装与操作2.1 清点部件

请根据订单清点，主要包括主机、电源线（CEM3020/CEM3002）等

2.2安装电源

CEM3002/CEM3020电源线为16A的插头，准备一个与现场220V电源联通的插座，将插头插入插座内。CEM3080电源线为6mm2的三芯线缆（5.5kW），请在现场电工的帮助下进行电源连接。

2.3 安装水源

CEM3080：水桶是放置在主机外面的，将主机上的进水管投入水桶中即可。CEM3020：打开主机正面下部的门，可以将一个20L的水桶置于主机下部，将进水管投入水桶中即可。CEM3002: 打开主机正面下部的门，可以将一个≤20L的水桶或者试剂瓶置于主机下部，将进水管投入水桶/瓶中即可。

2.4 安装气源

将外部气源管插接到进气口的快插接头中即可。

2.5 安装主机与应用设备之间的伴热管

需要预约工程师现场确定伴热管布置，测量所需长度后定制伴热管，再到现场安装。

注意1.水源要采用去离子水2. 不可用力拉扯进水管！3.管接头伴热测温的热电偶连接线需布置妥当，放置使用中不小心扯松，导致测温不正常烧坏伴热带

2.6 快速操作

2.6.1 打开设备电源（1）在前面板上打开主控开关（2）按下系统开关按钮，启动触摸屏主页面

2.6.2 预热设备（1）启动蒸发器：在主页面上点击蒸发器“设置”按钮，进入蒸发器设置页面；将SV设置为所需温度。SV的温度越高蒸发器的蒸发能力越强。对于CEM3020和CEM3080，SV设置为220℃和180℃可以达到设计的最大蒸发能力。

（2）启动伴热器：在主页面上点击伴热器的“设置”按钮，进入伴热设置页面。通常伴热的温度设置为120℃即可。如果主机和应用设备之间没有接附件，则可以不设置下面的三个伴热。

（3）启动预热混合器：在主页面上点击预热混合器的“设置”按钮，进入预热混合器的设置界面。把出口气体温度控制部分的SV设置为所需的目标温度。超温保护设置，通常出厂已经设置好。

（4）在主机前面板上，打开加热开关。

2.6.3 发生混合气体

待上述3个部件都达到预热温度后：（1）在主页面上点击质量流量计的“设置”按钮，进入质量流量计设置页面，可以调节载气流量。

（2）在主页面上点击进液泵的“设置”按钮，进入进液泵设置界面，调节进液泵流量。进液流量设好后，返回到主页面，点击进液泵的启动/停止按钮，即可发生蒸汽。

注意请勿随意更改PLC或控制仪表的设定参数！如需修改，请联系厂家或查阅PLC或控制仪表使用说明书。

3.设备维护与故障排除3.1更换设备附属配件

（1）断开电源连接线。（2）等待设备冷却半个小时（3）根据安装步骤更换附属配件

3.2检查系统气密性

设备在出厂前已经进行过气密性检查。后续若出现气密性风险，按一下步骤进行检查：（1）将设备除进气口以外所有可能存在气体泄漏的进液口及出气口用橡皮垫封堵（2）接通外部气源，并将气压调节到1 bar（3）用肥皂水喷洒在每一个系统管路的结构部位，查看是否存在肥皂水被吹出泡泡的现象。如有：则表示设备存在泄漏，需进行卡套锁紧或更换卡套处理，如没有：则表示设备气密性完好

注意使用高压气瓶时务必注意用气安全使用肥皂水喷洒时，务必在检漏部位底部做好吸水干燥措施。

3.3设备长期不使用处置

（1）将设备处于预热状态，水泵空泵运行排除残水，载气吹扫30min，防止内部管路积水（2）将进水管从水源断开，并防止灰尘/霉菌进入进水管，堵塞计量泵（3）切断电源和气源

3.4 设备无法产生蒸汽

（1）可能原因：未打开加热开关解决方法：立即停止水泵,检查加热开关是否打开（2）可能原因：设备配备的是双柱塞泵且是第一次使用时，水泵空转解决方法：需要用注射器在泵的出水口抽吸，直到出口出水；其它类型的泵无此问题（3）可能原因：蒸发器损坏解决方法：检查蒸发器温度是否可以达到150℃，不可以则报修

3.5 设备出口有液滴

（1）可能原因：蒸发器损坏或者尚未预热好解决方法：立即停止水泵，检查蒸发器温度是否正常，或者等待或者报修（2）可能原因：超过了蒸发器额定蒸发量解决方法：调节水泵流量到装置额定流量范围内（3）可能原因：预热混合器/伴热损坏或尚未预热好解决方法：检查该部件温度是否正常，或者等待或者报修

3.6 气体流量不足

（1）可能原因：设备开关、模块开关未开启。解决方法：开启所有开关。（2）可能原因：进液泵没有启动解决方法：开启电源运行进液泵（3）可能原因：设备汽化模块故障解决方法：检查更换汽化模块（4）可能原因：气路堵塞解决方法：检查堵塞气路并更换（5）可能原因：气源不足解决方法：检查气源