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集成一体式干式螺杆真空泵SG600/SG1200系列
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概括:应用于晶硅铸锭,高性能,长使用寿命。干式螺杆真空泵广泛应用于晶硅铸锭、真空炉、半导体、化工等行业干式螺杆真空泵适用于大多真空系统和应用场合
型号 | SG600 | SG1200 | |
抽速 | M³/h | 500/600 | 1000/1200 |
L/min | 8333/10000 | 16667/20000 | |
极限压力 | mbar | 1.33 x 10-3 / 6.66x10-4 | |
Torr | 1x10-3 / 5x10-4 | ||
Pa | 1.33 x 10-1 / 6.66x10-2 | ||
功率 | Kw | 7.4 | 9.2 |
口径 | 进气口 | ISO 100 | |
排气口 | NW 40 | ||
冷却水 | L/min | ≥3 | ≥5 |
重量 | Kg | 290 | 380 |