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DS300质量流量控制器
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我们是一家专业提供工业领域
核心零部件的供应商，致力于实现核心零部件中国造的产业梦想。
七星流量计传承了气体流量测控领域40多年研发生产经验，始终以技术创新为基点，为客户过程控制中气体的精准测控提供优质的产品和服务。
在流量测控产品迭代升级的同时，七星流量计依据工业领域客户新的零部件产品需求进行探索研究，深挖技术，创新产品，不断拓宽产品线，形成了流量测控、压力测控、磁流体密封装置、气路系统等系列产品，为半导体、太阳能、燃料电池、真空镀膜、分析仪器等行业客户需求，提供定制化零部件综合解决方案及产品服务，其营销服务体系覆盖欧、美、亚等世界主要国家和地区。
七星流量计未来将始终专注零部件领域的研发制造，坚持以客户需求为导向，深耕发展，不断创新，做好中国工业领域核心零部件产品，为更多的客户提供优质产品与服务。
详细信息
优势
• 控制精度高，精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 响应速度快，响应时间≤ 0.5sec。
• 采用基于压力原理的流量传感器技术，使产品具有压力不敏感特性，能够适用较大的气源压力波动。
• DS300采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题，实现孔径相对较小(孔径<1mm)、深径比相对较大(>10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理，符合SEMI标准要求。
技术参数
| DS300C | |
| 型号 | DS300C |
| 阀类型 | 常闭 |
| 流量规格(N2) | (0～30,50,100,200,300,500) SCCM |
| 准确度 | ±1% S.P. (≥10% F.S.) |
| 线性 | ±0.5% F.S. |
| 重复精度 | ±0.2% F.S. |
| 响应时间 | ≤ 0.5sec |
| 进口压力 | 240～450KPa 流量规格≤5SLM |
| 出口压力 | ≤1.2KPa 流量规格≤5SLM |
| 温度系数 | 零点：≤±0.02% F.S./℃； |
| 耐压 | 3 MPa |
| 漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He |
| 密封材料 | 金属密封 |
| 工作压力 | 0.45MPa |
| 工作环境温度 | （10～45）℃ |
| 输入信号 | 数字：RS485 或 DeviceNet |
| 输出信号 | 数字：RS485 或 DeviceNet |
| 零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%F.S./年 |
| 电源 | ±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极) |
| 表面化学成分 | Cr/Fe比例≥2.0； |
| 表面粗糙度 | Ra 5μinch |
| 标准接头形式 | VCR1/4阳接头； |
| 电源接头形式 | D型9针阳接头； |
| 重量 | 1.2Kg |
