Tousimis C系列落地式临界点干燥仪

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Tousimis C系列落地式临界点干燥仪

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华纳创新(Huanaco Innovation)是集设备制造、应用服务、国际贸易于一体的综合性创新企业集团,旗下包括华纳创新(北京)科技有限公司、华纳创新(苏州)*制造有限公司、北京弘燕*有限公司、望潮科技(北京)科技有限公司等多家企业,在北京、苏州分别设有研发中心和生产基地。其中华纳创新(北京)科技有限公司、北京弘燕*有限公司均为国家,且拥有ISO9001质量管理体系认证。华纳创新(苏州)*制造有限公司获得了江苏省产业技术研究院和苏州市高新区的专项支持。华纳创新以自动化技术为核心优势,自有软硬件平台,为铁路、化工、科研、环保等多个行业的用户提供自动化、智能化仪器装备和一体化解决方案,在多个细分市场处于。华纳创新在自动化系统研发方面技术实力雄厚,拥有多项和专有技术,是国家重点研发计划参与单位,并且与中国铁路总公司、北京大学、中科院长春应化所、中科院苏州医工所等多家单位开展研发合作,完成多项应用创新,曾获得中国铁道学会铁道科技奖特等奖、北京科技进步一等奖等奖项。华纳创新拥有“天霁/Tianji”、“望潮/Labocto”、“弘燕/Hongyan”三个子品牌,分别服务于环境空气监测、研发自动化、高铁钢轨焊接检测领域。“天霁/Tianji”品牌服务于环境空气监测领域,提供从大气采样到高精度空气组分监测的完整解决方案。天霁ODS5-PRO高精度ODS监测系统用于环境空气内痕量破坏臭氧层物质和含氟温室气体的在线分析,可以准确监测大气中含量在ppt(万亿分之一)级别的卤代烃类气体,是公司参与国家重点研发计划《大气污染成因及控制技术研究》的成果结晶,也是国内外能够在线监测万亿分之一级别ODS和含氟温室气体的商品化仪器,为气候变化监测和中国履行《蒙特利尔议定书》提供了有力的数据支持。“望潮/Labocto”品牌以提高客户研发效率为目标,为科研工作者提供定制化的自动化、高通量解决方案。望潮高通量系统基于自有知识产权的高精度机械臂实验平台,采用高度模块式设计,可根据用户需求进行快速配置,实现定制化自动实验流程,满足科研工作者对自动化操作的需求。系统提供多种专用功能模块,如共沉淀反应模块、高通量电池测试模块等,并可根据用户需求进行定制开发。“弘燕/Hongyan”品牌服务于中国高铁建设。弘燕系列产品用于铁路钢轨焊后热处理和焊接质量检测,为中国高铁的快速发展提供了基础保障。正火机是高铁轨道施工中最重要的设备之一,弘燕正火机采用变频加热技术,显著提高了钢轨焊接接头的晶粒度、强度和韧性,保障了高铁线路的安全和平顺。弘燕正火机已形成系列,分别适用于焊轨基地厂焊、移动焊现场等,满足多种应用场景下的焊后热处理需求,超过80%。新一代ZH800型智能正火机采用视觉技术自动识别焊缝位置,全自动完成所有操作,实现了正火作业的无人化和智能化。目前,华纳创新已和中国铁路总公司、、中国石化、中国石油、中化集团、中国大唐、、北京大学、清华大学等单位建立了稳定的客户关系,已有近百套自动化仪器设备在各焊轨基地、中科院科研院所、大气监测站点、企业研发机构和高校成功运行,得到了用户的广泛认可。创新是公司生存的基础,更是发展壮大的核心驱动力。华纳创新以制造国际的自动化智能仪器装备为目标,通过整合优秀科研与产品资源,打造科研成果转化与应用创新平台,努力为中国制造的升级转型作出自己的贡献。

详细信息



Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式临界点干燥仪多年成功经验的基础上,结合Tousimis独立研发的触屏控制界面全新推出的新一代产品。Touchscreen C 系列干燥仪具有高可靠性、高重复性、操作简便的特点,采用的专业触屏软件全自动控制,是提高MEMS研发与生产效率的利器。


产品特点:


  • 专为MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪,无尘室适用

  • 可处理8"晶圆,每次最多可处理5个晶圆

  • 标配HF相容晶圆架和10mm方型晶圆架

  • 标配专用样品室内环,可适配不同直径的晶片样品,节省LCO2用量,缩短干燥时间,提高干燥效率

  • LCD触控屏

  • 可编程触屏控制界面,全自动控制

  • 多种默认处理程序,也可自定义程序并重复使用

  • 慢速充液功能,适用于各种易损样品

  • “Stasis”程序用于处理较厚或较难干燥的样品

  • 高效内部冷却回路,快速降温,节省40%LCO2

  • 专用内置式SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO2,消除静电及吹扫噪音

  • 外置两级过滤系统,可过滤LCO2内0.08μm以上杂质

  • 外置吹扫过滤器,便于仪器维护

  • 非机械式吹扫搅拌技术,免维护

  • 内置压力控制模块,自动控制系统压力和保持压力稳定性

  • 精确参数控制,确保处理结果重复性

  • 样品室设有照明灯及观察窗,便于观察样品状态

  • 无尘室防静电兼容设计

  • 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准

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C系列干燥仪参数对比:


全新触屏C系列:


型号

(点击下载PDF)

‍4

Series C

Series C

Series C

产品编号
8788A8788B8788C
样品室尺寸4.5"(内径)×1.25"(深)6.5"(内径)×1.25"(深)8.5"(内径)×1.25"(深)
样品室容积326 ml679 ml1162 ml
温时间<3 min<4 min<5 min
样品室内环4", 3", 2", 1.25"6", 4", 3", 2", 1.25"8", 6", 4", 3", 2", 1.25"
HF相容晶圆架4", 3", 2", 10mm6", 4", 3", 2", 10mm8", 6", 4", 3", 2", 10mm
温度压力范围- 30 ℃ ~ 60 ℃,0 ~ 2000 psi
设备尺寸50.3 cm (宽) × 80.6 cm (深) × 113.0 cm (高)



标配附件:

  • 柔性高压LCO2进液管线,3.0 m(无尘室)

  • 外置两级LCO2过滤装置(去油/水及0.5 μm以上颗粒物)

  • 用于吹扫、放空、排气及冷却放空的防静电管线

  • 备用样品室密封环(3),样品室灯泡(2),保险丝(2)

  • 样品室内环,内径8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2", 1.25",可适配不同直径晶圆

  • HF相容晶圆架[8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2"]及10mm方形样品架,每个支架最多可放置5片晶圆或样品

  • 安装工具

  • 用户说明书及数据表

  • 2年质保及终生免费技术支持



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