日本optiworks 4D动态干涉仪PhaseCam6000 测厚仪

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日本optiworks 4D动态干涉仪PhaseCam6000 测厚仪

型号
参数
测量范围:1 产地:进口 类型:数字式 用途:薄膜测厚
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详细信息

日本optiworks 4D动态干涉仪PhaseCam6000

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产品特点

“动态干涉仪”4D技术的超高速干涉测量(30微秒标准)
“动态干涉仪”可以在振动不可避免的地方以及移动物体和远处的位置进行测量。样品也可以测量。

轻巧紧凑
机身尺寸约为 15 x 15 x 9 厘米,重量约为 9 公斤。它非常便携,可以安装在任何地方。

光学系统高自由度的Twyman-Green干涉仪

各种发散光束透镜,50mm/100mm扩束镜(可选)

可轻松调整光轴的光学取景器

使用外部波长稳定激光器提供多种光源选项

综合分析软件“4Sight™”

动态干涉测量法


传统的移相干涉仪使用压电元件等移动参考平面,获取干涉条纹的图像,并计算相位分布。单次测量至少需要100毫秒,在此期间干涉仪与测量样品之间会发生相对振动和空气波动,导致干涉条纹发生波动,导致测量误差增加。为了防止这种情况,需要光学面板、防振装置、挡风玻璃等。

4D Technology的动态干涉仪是一种划时代的系统,以其“动态干涉测量”解决了此类问题。

在“动态干涉”中,无需机械移动参考平面,一次图像数据采集即可获得四帧相移干涉图。由于对相机的每个像素进行相移,因此可以稳定地收集数据,并且由于一次测量的时间可以缩短到 30 微秒,因此可以在干涉图像因振动等而发生变化之前的瞬间进行测量.完成。

这使得可以在振动不可避免的环境中进行测量,测量远处的样品和移动物体,以及测量在室内进行环境试验的样品。

日本optiworks 4D动态干涉仪PhaseCam6000

“4Sight™”数据分析软件

4视线

用于高级干涉仪的高级软件。4D Technology 的 4Sight™ 被认为业界良好的干涉测量软件。

数据采集
・可以在4Sight™测量控制台查看实时图像的同时进行调整
・多种数据采集模式,如单次、平均、连续、差分和突发(电影)

数据分析
・斜率、直方图
・衍射分析(PSF、MTF、自协方差)
・几何光学分析(点扩散强度分布、圆形或方形孔径能量分布)
・泽尼克分析
・各种掩模函数
和其他自定义分析函数可以添加。





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产品参数

测量范围 1
产地 进口
类型 数字式
用途 薄膜测厚
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