工作原理：

     干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
二、主要特点

l 单级设计可以获得1Pa的高真空，从大气到极限真空可连续长期运行

l 螺杆材质为整体式球墨铸铁，强度高、可靠性好

l 无油干式压缩，可以抽除可凝性气体，有毒有害气体

l 吸气腔内部运转部件无接触摩擦，可实现高速平稳运行

l 内部零件可进行防腐涂层处理，可适用于化工制药行业的特殊要求

l 低噪声、无振动，适应微电子、半导体等安静环境的使用

l 泵腔无油结构设计，泵无废气、无废液排放，特别适合气体回收

l 可与罗茨真空泵、气冷罗茨真空泵、分子泵组成高真空获得设备