1分辨率：

1.1宽度测量显示分辨率≤1nm。

1.2高度测量显示分辨率≤0.8 nm。

2光源要求：

2.1激光部分：采用405nm短波长半导体激光器，安全等级CLASS 2（输出功率≤1mW）。

2.2可见光部分：长寿命LED光源。

2.3光扫描型观察装置：通过对激光的扫描而得到的信号进行取样，将其转换为电信号。

*3采用激光双光路共焦系统。

4放大倍数：110倍——17000倍。

5载物台要求：

5.1控制方式：电动载物台。

5.2载物台行程范围：X向不小于100mm，Y向不小于100mm。

（大工作台可定制）

6物镜要求：

6.1提供不少于5X、10X、20X、50X、100X、20X（超长焦）物镜共计6颗。

6.2其中20X、50X、100X均为405纳米激光LEXT专用平场复消色差（APO）物镜。数值孔径（N.A.）分别不小于0.60、0.90、0.95。

*6.3其中20倍超长焦物镜工作距离不小于25mm。

7物镜转换器：5孔电动编码型物镜转换器。

8可观察试样高度：0—95mm。

9软件要求：

9.1功能包括：长度、高度、角度、面积、体积测量。其中高度测量根据相机上成像的多个位置的分段图像的像素的亮度信息，求出IZ峰值位置，获得上述试样的高度信息，上述IZ峰值位置是根据表示亮度I和Z轴方向的焦点位置之间的关系的I-Z特性求出的亮度位置。

9.2粗糙度测量功能：软件操作界面具有单独粗糙度测量模块，取样长度d不低于50mm，测量精度符合国际标准ISO4287。

9.3自动三维拼图功能。软件具备操作向导功能及宏观地图功能。

10计算机要求：XeonCPU/8G内存/500GB硬盘/DVD-RW光驱/24寸专业液晶显示器。

*11具备升级为原子力功能。