特点：

1.方晶和1”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪；

2.通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性；

3.电磁阀门以及密封适用于LCO2、乙醇及丙酮；

4.内表面适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮；

5.可重复设定操作参数确保了结果的可重复性；

6.每次运行可以处理5×10mm的方晶或5×1”的圆晶，（提供可以兼容HF的样品架，方便处理样品）；

7.集成自动控温；

8.内置圆盘裂片保证安全；

9.每个操作模式LED显示，一目了然；

10.洁净室和防静电兼容设计；

11.的固态电子系统；

12.高效隔热冷却系统：在90秒内可以把样品室从室温冷却到操作所需温度；

13.静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；

14.0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室；

15.内腔有照明灯，样品室盖子带观察窗，便于观察样品室内部状态；

16.微型计量阀门带游标卡尺，可实现重复设定及控制流速;

17.标配SOTER^TM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳。

18.所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；

规格：

1.外部尺寸：宽14.0” (35.6 cm) × 高10.25” (26.0 cm) × 长21.5” (54.6cm)；

2.占地尺寸：宽36” (92 cm) × 深30” (76 cm)；

3.样品室尺寸：内径1.25” × 深1.25”; 样品室容积：25ml

4.温度范围：- 30 ℃ 至 60 ℃，压力范围：0 - 2000 psi；

5.Purge时间范围：0-45 min

6.120V/50-60HZ(可选其他电压)；

标准配件：

1.高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon） 3 米长；

2.外部LCO2过滤装置，去除水/油以及颗粒（小至0.5μm），过滤装置可预先与LCO2管连接，安装方便；

3.SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳，降低排气噪音；

4.防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气；

5.内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同保护线路、晶片和阀门

6.流量计，可精确控制BLEED的排气速率；

7.样品室O型圈2个，样品室照明灯2个，5A保险丝2个；

8.HF兼容的10mm方晶PTFE插片架，每次操作最多能装载5个晶片

9.安装工具一套

10.用户手册；

11.所有部件一年质保。