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等离子刻蚀机
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西安顺星电子科技有限公司SUNSATAR成立于2001年。 于2006年与光弘科技有限公司合作成立了亚太区智能制造系统”C-MES”研发中心。 于2008年与的电子装备生产企业：松下，Rehm，美禄等公司达成合作，建立了西安顺星电子科技有限公司：亚太区智能系统和装备销售部。帮助相关客户建立完整的智能制造C-MES智能制造系统系统，提供给用户从软件服务到工艺支持和设备安装等一系列的交钥匙工程。 顺星电子科技C-MES产品事业部成立于2008年，专注于制造企业智能化协同管理系统(Collaboration Manufacturing Execution System，C-MS)的研究与生产制造，公司本着： 科学严谨，开发国际智能制造协同管理系统； 专业高效，提供国际顾问优化服务及解决方案； 求实创新，努力成为智能制造系统； C-MES- 制造企业智能化协同管理系统(Collaboration Manufacturing Execution System)，通过大量的市场客户应用，在实现提高生产效率、提高产品品质、缩短生产周期、降低制造成本、全面防错防呆，实现全面科学的可追溯管理，为中国本土的制造产业实施“智能制造”指明了方向。
详细信息
等离子刻蚀机
等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
等离子刻蚀机的应用
等离子体处理可应用于所有的基材，甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗，等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低，因此，低压等离子体也能处理敏感性材料。等离子刻蚀机的典型应用包括：
等离子体清除浮渣
光阻材料剥离
表面处理
各向异性和各向同性失效分析应用
材料改性
包装清洗
钝化层蚀刻
聚亚酰胺蚀刻
增强粘接力
生物医学应用
聚合反应
混合物清洗
预结合清洗
等离子刻蚀的影响因素
–气压（Pressure）。
–温度（Temperature）提高温度会提高刻蚀率。
–Micro-loading
–刻蚀后腐蚀（Post-etch corrosion）。
–残留物（residual）。
