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Profilm3D Profilm3D光学轮廓仪
- 型号
- Profilm3D
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成立于2012年，在香港、上海、东莞、天津、西安和苏州设有分支机构或办公室。从成立伊始就一直专注于薄膜厚度与表面轮廓测量领域，为半导体、面板等高科技企业和高校及研发中心提供精密测量设备与解决方案。提供全面的一对一销售服务，技术支持，备件管理和咨询服务。不同于大多数的设备销售公司，我们具备技术与丰富的行业经验，不光为用户提供设备，也提供设备具体应用及工艺方面的支持服务，同时我们具备核心研发能力，在设备设计和集成上可以帮助客户解决特殊应用问题。 公司核心人员在薄膜测量领域耕耘超过10年，拥有非常丰富的行业经验，为客户提供的解决方案。 优尼康科技有限公司成立于2014年，作为翌颖科技的附属公司拓展业务领域。 我们秉承“真诚，专注，信赖”的理念，用我们真诚的态度与行动服务客户，专注于为客户提供高品质、适合用户需求的产品，与每一位客户建立互相信赖的合作伙伴关系。我们真诚希望与大家共同成长，共同发展，一起创造美好的明天。
详细信息
Profilm3D 光学轮廓仪
低成本–高精度
Filmetrics让3D光学轮廓测量的价格变得更加能够接受。Profilm3D使用的垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。以的价格实现次纳米级的表面形貌研究。
100mm自动XY样品台
您还在位每人都希望要的功能而支付额外的费用吗？我们现在每台Profilm3D都将100mm自动XY样品台，4孔物镜转台和手动调平装置作为标准配置。
超大的视场范围
Profilm3D仅用10倍物镜就提供了达到2mm的超大视场范围，同时其4倍光学变焦的功能缓解了不同应用时切换多个物镜的需求。这些都进一步降低了采购成本。
特征值
8 μm 台阶高度
精确度是指每天测量30次10um台阶高度标样的1次标准差，连续成功测量20天的平均值。环境温度稳定性小于 1°C。
稳定性是指连续成功测量10um台阶高度标样20天，取每天测量30次数值的平均值，计算2倍标准差。环境温度稳定性小于 1°C。
所有变焦缩放后的有效像素为648 x 484 (通过数位化的pixel binning实现)
分开销售
样品上投影的像素大小
样品表面粗糙时可测倾角将更大
