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HLMFC3,6,8,10 质量流量控制器的工作原理
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质量流量控制器的工作原理:
质量流量控制器由驱动调节机构实现对气路阀门开口大小的控制(阀控)、调节、关闭等,当要求关闭质量流量控制器时,质量流量控制器直接控制驱动机构执行关闭或开起动作,当需要对质量流量控制器流量实施阀控调节时,质量流量控制器驱动调节机构与流量传感器和放大比较电路组成闭环负反馈控制,给定值由另三个控制单元提供,实际流量大小由传感器信号放大,送给显示模块显示,质量流量控制器通过 PLC 和 D/A 模块,借助外围辅助电路,既能给 MFC 提供各种开关量控制信号,又能供给大小可调的模拟量信号,从而达到用软件程序对气体的灵活控制。
质量流量控制器实物图片: