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stil三维表面轮廓测量仪
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东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司（以下简称蓝海）专业销售光谱共焦传感器、白光光谱干涉传感器、红外光谱干涉传感器、激光测径传感器、3D激光线扫传感器、三维表面轮廓测量仪等高精度仪器核心部件。 强大的工业制造依赖于三个领域：一是新型材料；二是精密制造；三是精密检测。中国制造2025目标的实现离不开精密检测产业的发展，我们致力于为中国制造提供一双慧眼，推动中国精密光学检测行业向更高更精密方向发展。 我们坚持以市场为导向，技术为保障，发现并解决顾客痛点，以标准产品和个性化联合研发定制解决方案相结合的产品组合满足不同领域的客户需求。 蓝海人坚持“专注协作，知行合一”的经营理念，与中国制造一起扬帆远航，屹立于世界之林。
详细信息
法国STIL三维表面轮廓测量仪
配置“点”传感器的MICROMESURE2系统
MICROMESURE2系统，配置CCS-Prima,STIL-DUO传感器，是非接触式表面测量的理想工具，包含3D粗糙度，形状测量和3D微观形貌。
MICROMESURE2系统，重复利用了STIL非接触式传感器在各种应用和领域的性能。
与配套的控制器&采集硬件和软件一起交付，MICROMESURE2系统是一套整机，启动后立刻执行（指令）。
借助光谱共焦传感器
- 非接触式尺寸测量
- 纳米和微米分辨
- 白光传感器（无斑点，大测量范围）
- 同轴测量（无阴影）
- 镜面上的高局部斜率（反射式）
- 对环境光不敏感
- 可测金属，玻璃，半导体，陶瓷和其他更多材料
- 透明物体的厚度测量方式
- 具有大测量范围能力（20μm-24mm）
借助高质量的扫描系统
- Z轴0.1μm编码器（系列产品）
- X&YZ轴0.1μm编码器（可选择）
- 低震动
- 正交性和平面度校正
- 透明的作业空间，避免气流震荡
配置线传感器的MICROMESURE2系统
2014年产品：配置了MPLS180线传感器的MICROMESURE2
4个光学头可选：Nano view,Micro View,Deepview,Wire view
专用软件：Line SensorMap
MICROMESURE2系统技术参数
| STIL 3D轮廓测量仪 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型号 | MIME-3M1R-115 | MIME-3M3R-115 | MIME-3M3R-332 | |||||
| X-Y轴参数 | 行程 | 100mm | 100mm | 300mm | ||||
| 编码器 | 无 | 有 | 有 | |||||
| 位置精度 | 10μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
| 位置分辨率 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | |||||
| 平面度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | TBA | |||||
| 速度 | 20mm/s | 20mm/s | 20mm/s | |||||
| Z轴参数 | 行程 | 50mm | 50mm | 50mm | ||||
| 编码器 | 无 | 有 | 有 | |||||
| 位置精度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
| 位置分辨率 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | |||||
| 平面度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
| 速度 | 5mm/s | 5mm/s | 5mm/s | |||||
| 外形尺寸（L*D*H） | 640*612*606（mm） | 640*612*606（mm） | TBA | |||||
| 重量（kg） | 120 | 120 | 250 | |||||
MICROMESURE2系统表面图像处理及采集软件
| 表面图像控制&采集软件 | ||
|---|---|---|
| 采集类型 | 轮廓扫描(X,Y,倾斜物) | |
| 表面扫描 | ||
| 点系列采集 | ||
| 重复测量 | ||
| 混合采集序列 | ||
| 视频图像（如配置摄像机） | ||
| 扫描参数设定 | 体积 | |
| 沿每个轴步进 | ||
| 传感器参数设定 | 高度模式 | |
| 厚度模式 | ||
| 光笔选择 | ||
| 平均 | ||
| 双倍频率（如提供) | ||
| 扫描类型 | 恒定速度（带有间隙补偿） | |
| 恒定速度（前&后） | ||
| 逐步 | ||
| Z following | ||
| 数据存储 | 文件夹选择 | |
| 格式选择(binary,csv) | ||
| 用户监督 | 测量进程 | |
| XY和Z坐标 | ||
| 传感器状态 | ||
| 自动程序 | 硬件归位 | |
| 自动对焦 | ||
| 重定位 | ||
| 检查 | ||
应用类型：
- 形状及纹理分析
- 精密机械检测
- 表面特征分析
- 3D高度和厚度，形貌/轮廓
- 粗糙度测量
- 尺寸测量
应用领域
- 机械（粗糙度，摩擦力，3D计量，腐蚀分析......）
- 玻璃行业(浮法玻璃在线厚度控制，3D计量......)
- 微电子（粗糙度,3D计量，缺陷分析）
- 光学（粗糙度，3D计量......）
- 钟表(平面度，粗糙度，厚度......)
- 核燃料工业(粗糙度，摩擦度，3D计量，腐蚀分析......)
- 航空航天(粗糙度，涡轮形状）
选择：
- 后期处理软件：来自法国图像技术的MountainsMap
- 用于实际3D测量的X&Y轴的线性编码器（位置精度=1μm/100mm）
- 录影机
- 用于更换光笔的简单刀塔或双刀塔
- 减震支架
- 1轴和2轴配置
- X&Y轴行程可达300mm定制
- Z轴行程可达100mm定制
计量工件
- 校准槽(深度为10μm)
- 粗糙度标准(Ra=0.8μm)
- 光学平面（直径=140mm）
- 位移光罩(用于设置录影机偏移)
