台阶仪 | 薄膜测厚仪 | 微细形状测定机ET200A

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苏州邦恩精密仪器有限公司(以下简称邦恩精密)是一家专注于品牌测量仪器销售和服务的公司,自从创办以来,一直致力于与行业内享有盛名的品牌商合作,为客户提供各方面的测量解决方案。 经过多年德国工业文化的熏陶,邦恩已形成以德国卡尔.蔡司/ ZEISS、GOM三维扫描仪、天准影像仪、瑞士RPS关节臂等品牌为代表的产品结构。 作为精密测量的高素质服务商,邦恩公司提供的售前诊断、产品销售及售后服务支持,主要服务于汽车、模具、机械、电子、半导体元器件、塑胶、航天航空等行业。 汇聚世界工业测量品牌,集聚一批高素质的管理销售人员,邦恩公司经营世界享有盛名的精密测量产品,为客户产品品质的提升贡献力量。

详细信息

台阶仪ET200A产品参数

试片尺寸 Φ200mm×高度50mm
重现性 1σ ≤ 1nm
测定范围 Z:600um X:100mm
分解能 Z:0.1nm X:0.1um
测定力 10UN~500UN (1mg-50mg)
载物台 Φ160mm, 手动360度旋转

ET200A基于Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半 导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、 薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高 精度表面形貌分析应用。ET200A 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨 损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET200A 配备了各种型号探针,提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD 原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

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