特点

•Z轴装有数显弧形标尺，可以提供更大的测量范围和更高的分辨率，从而不必再依靠测量倍率。

•可以应用数据分析系统(个人计算机和Formpak-1000软件)。

*连接PC后， Formpak-1000轮廓分析程序可提供多种测量和分析方式。连接XY绘图仪后，可在输出前通过显示装置检测轮廓曲线。

技术参数

X1轴

　测量范围: 50mm (CV-1000)或100mm(CV-2000)

　分辨率: 0.2µm

　检测方法:反射型线性编码器

　驱动速度: 0.2, 1mm/s和手动

　测量速度: 0.2, 0.5mm/s

　移动方向:向后

　直线度: 3.5µm/50mm (CV-1000),

3.5µm/100mm (CV-2000)

*当X轴在水平方向上

　指示精度:±(3.5+2L/100)µm

* L为驱动长度(mm)

　倾斜范围:±45°(CV-2000)

Z2轴(立柱，仅用于CV-2000)

　立柱类型:电动(S4型)和手动(M4型)

　垂直行程: 250mm (S4型), 320mm (M4型)

　分辨率: 0.2µm (S4型)

　检测方法: ABSOLUTE线性编码器(S4型)

　驱动速度: 0 - 5mm/s和手动

Z1轴(检测器)

　测量范围: 25mm (CV-1000)或40mm (CV-2000)

　分辨率: 0.4µm (CV-1000)或0.5µm (CV-2000)

　检测方法:弧形编码器

　指示精度: ±(3.5+I4HI/25)µm

(20°C时) *H为水平位置上的测量高度(mm)

　测针上／下运作:弧形运动

　测针方向:向下

　测力: 10 - 30mN

　跟踪角度:向上：77°、向下：87°

(根据表面粗糙度，

使用标准单切面测针)

测针针尖半径: 25µm、硬质合金针尖

基座尺寸(W x H): 750 x 600mm (CV-2000)

基座材料:花岗岩(CV-2000)

重量: 5kg (CV-1000N2),

115.8kg (CV-2000M4),

124kg (CV-2000S4)

电源: 100 - 240VAC±10%, 50/60Hz

能耗: 150W (主机)