外延片等离子刻蚀机-环保在线-手机站

深圳市金徕技术有限公司

免费会员

进入商铺全部产品

该企业相似产品

在线询价

在线询价

在线询价

在线询价

深圳市金徕技术有限公司成立于2008年至今专注研发、制造等离子体处理设备，主营产品有：真空等离子清洗机、大气等离子清洗机、在线等离子清洗设备、等离子表面处理设备，等离子去胶机、等离子刻蚀处理机等。金徕品牌等离子处理设备对各类材料表面活化、蚀刻、清洁、沉积工艺中具有提高材料表面亲水性、清洗材料表面有机物、改善材料表面附着力等优势。并广泛用于新能源及汽车制造、半导体集成电路、电路板制造、塑料五金、塑料五金、生物医疗材料、精密仪器、高分子材料、纺织纤维改性、包装、印刷、医疗器械、灭菌等行业等产业。为更好服务客户，金徕公司先后设立深圳、香港、长沙、昆山、成都、石家庄等六大客户服务中心，研发制造中心在东莞。公司秉承客户至上、品质至上、创新、速度的理念，不断加强自主创新与发展。专注于等离子技术研发及应用。同时为客户提供高效、精准的自动化制造方案。金徕技术一贯坚持：“的产品；的服务；的合作关系”的经营理念；“顾客满意，共同发展”的经营目标；“至诚至信，至新至美”的公司精神；“团队合作，以人为本”的核心价值。

详细信息

产品型号：JL-E30

设备功能：对外延片、晶圆、塑料、金属材料等，进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀，实现各项异性刻蚀，保证细小图形转移后的保真性。

产品应用：适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、刻蚀、清洗、镀膜。

技术参数：

型号	JL-E30
等离子源系统	频率		13.56MHz 射频
	功率		0~500W 可调
真空系统	真空腔体	材质	石英、航空铝（选配）
		腔体内部尺寸(MM)	400200400
		腔体容积	30L
		极板	1层
		密封性	级焊接密封
	泵	真空泵	干泵
		真空管路	不锈钢管、不锈钢波纹管
	真空计		薄膜硅
	气体流量计		＜±1% FS
	气路控制		2路处理气体气路，气体流量可调
	极限真空		3Pa
适用气体	流量范围		0-500SCCM（可调）
	工艺气体		Ar、N₂O₂、H₂等等（可选）
控制系统	1、PLC 自动控制；
	2、7寸触摸屏,图形用户界面；
	3、配方程序为 0~99；
	4、多级权限操作；
	5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；
	6、存储工艺数据及错误信息；
	7、报警信息提示及追溯；
	8、图形化界面检测处理参数；
	9、自动、手动操作可切换；
	10、维护提示紧急停止按钮；
	11、门感应器和真空互锁；
	12、机器运行信号指示；
	13、机器运行结束提示；
外观参数	外形尺寸(MM)		6401700840 (宽高深）
	重量		280KG
设施配置	电力		五线，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。
	压缩空气		干燥压缩空气CDA。
	其它		提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单。

设备优势：

1、小技巧、操作简单、易维护。

2、引进德国核心等离子技术，质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计，精度高。

4、材质耐腐蚀，环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。

6、可以根据客户需求定制。

设备订购：

等离子去胶机： 电话咨询（微信同号）

该企业相似产品

详细信息

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

常用功能直达