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FPFRE-MDPMap 单晶多晶硅片寿命测试仪
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- FPFRE-MDPMap
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孚光精仪公司品牌源于早期的东欧地区和德国进口光学材料和仪器的进口服务。公司创始股东们足迹遍布捷克，爱沙尼亚，罗马尼亚，白俄罗斯，立陶宛,法国，英国，意大利，奥地利，丹麦，比利时，以及德国 汉堡，法兰克福，柏林，慕尼黑，纽伦堡，德累斯顿等科技强国和强市，对整个欧洲特别是东欧和德国的技术产品和精密仪器的质量有可靠的把握。长期以来，德国在科学研究、技术创新和仪器研发领域具有的优势。德国的科学仪器以技术*，质量可靠而著称。孚光精仪早期专注于选择德国和东欧国家可靠的供应商，为用户提供了道质量保障。公司派送员工前往原厂进行技术培训，从而具备为远东地区用户提供快速高效的技术服务能力，这一举措深得用户和制造商的高度赞誉。因此，孚光精仪的事业在服务客户的同时获得超常发展,快速成长为*仪器的规模型供应商和技术服务商。目前，孚光精仪已经把产品原产地扩展到整个欧洲和美国，形成了以欧洲和美国为供货来源地的良好局面。
详细信息
单晶多晶硅片寿命测试仪是专用为晶圆品质检验,测量少子寿命,测量光电导率和电阻率等研发的晶圆寿命测试仪器。
单晶多晶硅片寿命测试仪MDPmap自动识别样品,参数设置可以使该仪器适应各种样品，包括从生长的晶圆到高达95%的金属化晶圆之间不同制备阶段的各种外延片和晶圆片。
单晶多晶硅片寿命测试仪具有高度的灵活性，它允许集成多达4台激光器，用于从超低注入到高注入的与注入水平相关的寿命测量，或者通过使用不同的激光波长提取深度信息。
单晶多晶硅片寿命测试仪
灵敏度：对外延工艺监控和不可见缺陷检测，具有可视化测试的分辨率
测量速度：6英寸硅晶圆片，1mm分辨率 ，小于5分钟
寿命测试范围: 20纳秒到几十毫秒
沾污检测：源自坩埚和生长设备的金属(Fe)污染
测量能力：从初始切割的晶圆片到所有工艺加工的样品
灵活性：允许外部激光通过触发器，与探测模块耦合
可靠性： 模块化和紧凑台式仪器，更高可靠性，正常运行时间> 99%
重现性： > 99.5%
电阻率：无需时常校准的电阻率面扫描
单晶多晶硅片寿命测试仪规格参数
| 样品尺寸 | 5~300mm（300mm为标配，可根据需求提升至450mm） |
| 寿命范围 | 20ns到几毫秒 |
| 电阻率 | 0.2 - 10^3 Ohm cm P/N |
| 材质 | 硅晶圆，外延层，部分或加工晶圆，化合物半导体等 |
| 测量属性 | 少数载流子寿命,光电导性, μ-PCD/MDP (QSS) |
| 激励源 | 可选四种不同波长（355nm—1480nm），默认980nm |
| 大小 | 680 x 380 x 450 mm, 重量: 65 kg |
| 电源要求 | 100-250V，50/60 Hz, 5A |
