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D-300 KLA台阶仪 D-300 探针式 表面轮廓仪
- 型号
- D-300
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成立于2012年，在香港、上海、东莞、天津、西安和苏州设有分支机构或办公室。从成立伊始就一直专注于薄膜厚度与表面轮廓测量领域，为半导体、面板等高科技企业和高校及研发中心提供精密测量设备与解决方案。提供全面的一对一销售服务，技术支持，备件管理和咨询服务。不同于大多数的设备销售公司，我们具备技术与丰富的行业经验，不光为用户提供设备，也提供设备具体应用及工艺方面的支持服务，同时我们具备核心研发能力，在设备设计和集成上可以帮助客户解决特殊应用问题。 公司核心人员在薄膜测量领域耕耘超过10年，拥有非常丰富的行业经验，为客户提供的解决方案。 优尼康科技有限公司成立于2014年，作为翌颖科技的附属公司拓展业务领域。 我们秉承“真诚，专注，信赖”的理念，用我们真诚的态度与行动服务客户，专注于为客户提供高品质、适合用户需求的产品，与每一位客户建立互相信赖的合作伙伴关系。我们真诚希望与大家共同成长，共同发展，一起创造美好的明天。
详细信息
KLA D-300 探针式表面轮廓仪
Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。
探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。
设备特点
· 台阶高度：几纳米至1000μm
· 低触力：0.5至15mg
· 视频：500万像素高分辨率彩色摄像头
· 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真
· 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
· 紧凑尺寸：最小占地面积的台式探针式轮廓仪
主要应用
· 台阶高度：2D台阶高度
· 纹理：2D粗糙度和波纹度
· 形式：2D翘曲和形状
· 应力：2D薄膜应力
应用领域
· 半导体和复合半导体
· SIMS：二次离子质谱
· LED：发光二极管
· 太阳能
· MEMS：微电子机械系统
· 汽车
· 医疗设备
