闭循环低温恒温器

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闭循环低温恒温器

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成都众仪科技有限公司成立于2016年,专注于高科技仪器设备事业,为全国各大高校、科研院所和企事业单位提供*的半导体生产和测试设备,及综合解决方案。公司销售的半导体测试设备:SEMISHARE品牌探针台(probe station)、探针台配件和面板激光修复机(laser repair)、矢量网络分析仪、半导体参数分析仪、示波器、数据采集仪、高低温测试系统等。公司销售的生产工艺类设备:贴膜机、划片机、芯片分选机、贴片机、环境试验箱、激光封焊机、光刻机、匀胶机、等离子清洗机、等离子去胶机、磁控溅射机、电子束蒸镀机等。公司立足四川,服务西南及全国的客户,是中国探针台品牌SEMISHARE西南地区代理商。公司秉承“诚信”、“利他”的原则,为半导体行业提供*的工艺检测设备和定制化配套技术服务,全心全意服务客户的同时不断成长。西南地区主要客户:高校、研究所和高科技企业。

详细信息

Polaris-C-4(闭循环)特点:

载物Chuck 温度范围:10K-500K        

载物chuck 可到4英寸

制冷功率:1W@4.2K

探针振动抑制:< +/- 60 nm in 30 mins

双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度

可以选择射频配件做67 GHz的射频测试

可以选择防震桌

可以选择超高真空腔体,极限真空到10-10 torr

客户订制

 

温控规格:  

控温范围

10K-500K

控温精度

0.001K

温度稳定性

10 K        + - 0.1 K

 

77 K        + - 0.1 K

 

373 K       + - 0.08 K

 

473 K       + - 0.1 K

 

 

常温到10K冷却时间:

1小时40分钟

10K到常温升温时间:

1小时30分钟

从常温到473K 的升温时间         

25分

电源

直流

材质

SS304

功率(4chuck) 

50/100W

 

 

 

 

      

可选附件

防震桌

内置/外置探针臂

显微镜

方形chuck

分子泵组

射频部件

Chuck可外部移动装置

高真空腔体

客户定制。

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