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多路质量流量供气系统
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沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于
2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自*SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来，沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日，已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品，可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。
详细信息
产品简介：多路质量流量供气系统是用于控制一种到多种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。
| 产品型号 | 混气系统2路质子GSL-2Z、混气系统3路质子GSL-3Z、混气系统4路质子GSL-4Z |
| 主要特点 | 精度高，运行稳定可靠，工作压力范围宽，可在高压或真空条件下工作，且操作使用方便。 |
| 技术参数 | 1、电源：185-245V 50Hz 2、输出功率：18W 3、控制范围：GSL-2Z控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM GSL-3Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM GSL-4Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM 4、压力：3×106 Pa 5、准确度：±1%FS 6、线性：±0.5-1.5% 7、重复精度：±0.2%FS 8、响应时间：气特性1-4s，电特性10s针阀：316不锈钢 9、工作压差范围：0.1-0.5 MPa 10、压力表测量范围：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） 11、混气罐：Ø80mm×120mm 12、截止阀：Ø1/4″，316不锈钢针阀 13、工作温度：5-45℃ |
| 产品规格 | 尺寸：600mm×600mm×650mm |
