起订量:
PCE-8等离子清洗机
免费会员
经销商沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于
2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自*SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来,沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日,已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品,可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。
产品简介:PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 Ø8.5"×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0- 100W连续可调节,采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,将对生长具有显著的作用。PCE-8等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。
产品型号 | PCE-8等离子清洗机 |
主要特点 | 1、采用6"彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。 2、内部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量。 |
技术参数 | 1、电源:AC220V 2、射频功率:100W,可在0-100W间调节 3、真空泵功率:<500W 4、总功率:<600W 5、射频:13.56MHz 6、等离子腔体:高纯石英腔体,外径Ø8.5",内径Ø8.2",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密封,法 兰设有一个Ø60mm的观察窗口 7、极限真空度:50mtorr 8、通入气体:可通入多种气体,如N2、Ar、Air、H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定) |
清洗及蚀刻 | |
产品规格 | 尺寸:620mm×450mm×600mm |
可选配件 | 1、300W、600W射频电源(进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验) 2、2"-6"石英舟(盛放基片) 3、2-4通道浮子混气系统 4、2-4通道质子混气系统 5、直连式双旋真空泵(240L/min) 6、KF25波纹管 7、KF25手动挡板阀 |