多槽自动硅片超声波清洗机

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多槽自动硅片超声波清洗机

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,人们所听到的声音是频率20~20000Hz的声波信号,高于20000Hz的声波称之为超声波,声波的传递依照正弦曲线纵向传播,即一层强一层弱,依次传递,当弱的声波信号作用于液体中时,会对液体产生一定的负压,使液体内形成许许多多微小的气泡,而当强的声波信号作用于液体时,则会对液体产生一定的正压,因而,液体中形成的微小气泡被压碎。经研究证明:超声波作用于液体中时,液体中每个气泡的破裂会产生能量极大的冲击波,相当于瞬间产生几的高温和高达上千个大气压,这种现象被称之为“空化效应”,超声波清洗正是应用液体中气泡破裂所产生的冲击波来达到清洗和冲刷工件内外表面的作用。超声波清洗机是利用高于20KHZ的超音频信号,通过换能器转换成高频机械振荡而传入清洗液中,超声波在清洗液中疏密相间地向前辐射,使液体流动并产生数以万计的微小气泡,这些气泡是在超声波纵向传播形成的负压区形成生长,而在正压区迅速闭合,这些气泡的形成生长及迅速闭合被称为空化现象。在空化现象中,这些气泡的闭合形成超过1000个大气压的瞬间高压,连续不断地瞬间高压就象一连串小的“爆炸”不停地轰击物体表面,使物体表面及缝隙之中的污垢迅速剥落,达到迅速清洗效果;当声压或者声强受到压力到达一定程度时候,气泡就会迅速膨胀,然后又突然闭合。在这段过程中,气泡闭合的瞬间产生冲击波,使气泡周围产生1012-1013pa的压力及局调温,这种超声波空化所产生的巨大压力能破坏不溶性污物而使他们分化于溶液中,蒸汽型空化对污垢的直接反复冲击。方面破坏污物与清洗件表面的吸附,另一方面能引起污物层的疲劳破坏而被驳离,气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗,污层一旦有缝可钻,气泡立即 “钻入”振动使污层脱落,由于空化作用,两种液体在界面迅速分散而乳化,当固体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时,油被乳化、固体粒子自行脱落,超声在清洗液中传播时会产生正负交变的声压,形成射流,冲击清洗件,同时由于非线性效应会产生声流和微声流,而超声空化在固体和液体界面会产生高速的微射流,所有这些作用,能够破坏污物,除去或削弱边界污层,增加搅拌、扩散作用,加速可溶性污物的溶解,强化化学清洗剂的清洗作用。由此可见,凡是液体能浸到且声场存在的地方都有清洗作用,其特点适用于表面形状非常复杂的零件的清洗。尤其是采用这一技术后,可减少化学溶剂的用量,从而大大降低环境污染。第二超声波在液体中传播,使液体与清洗槽在超声波频率下一起振动,液体与清洗槽振动时有自己固有频率,这种振动频率是声波频率,所以人们就听到嗡嗡声。另外,在超声波清洗过程中,肉眼能看见的泡并不是真空核群泡,而是空气气泡,它对空化作用产生抑制作用降低清洗效率。只有液体中的空气气泡被*拖走,空化作用的真空核群泡才能达到效果。上图是一个在水中工作的换能器剖面图:在中间是一层一定厚度的不锈钢板,换能头沾结在这一层钢板下,通过超声发生源产生一定频率和电压的交流电信号带动换能头和不锈钢板一起做高频震动,当钢板向上震动时,将水向上推开,当钢板向下震动时,水跟不上钢板的震动速度,在水和钢板之间会形成一个空隙,这样反复震动就会有许多的气泡形成,如图所示:这种气泡就是由“空化效应”产生的,我们称之为空化泡。空化泡顺着震动方向向水中传播,如果水中正好有工件,空化泡撞击到工件表面产生数千个大气压的撞击力,带动工件表面的污垢脱落。

详细信息

15.JPG

多槽自动硅片超声波清洗机


☆频率功率:40HZ 192000W


☆加热功率:100KW


☆总功率:121KW


☆承重:50KG

15.png

1. 设备名称:全自动硅片清洗机

2. 概述:

自动硅片清洗机生产主线依次为:进料槽、超声波清洗槽、超声波洗剂脱脂槽、RO水超声波漂洗槽、超声波洗剂脱脂槽、超声波洗剂脱脂槽、RO水超声波漂洗槽、RO水超声波漂洗槽、RO水超声波漂洗槽共8个工位,其工作原理是利用超声波渗透力强的机械振动冲击硅片表面并结合清洗剂的化学去污作用达到对硅片表面附着的碳化硅、硅粉、金属粉末、油污、悬浮液等杂质的清除,从而获得表面洁净的硅片。本设备电气控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长,单臂小车运行平稳,动作迅速、可靠。

3. 设备技术参数

3-1、设备输入参数:

   3-1-1、清洗零件名称、材料:太阳能硅片

  3-1-2、零件规格: 125×125mm,156×156mm

   3-1-3、清洗前状态:含油污、杂质等

   3-1-4、生产能力: 200片/框,≥1500万片/年

   3-1-5、单框装载量:8只花篮/框(6″或8″花篮)

   3-1-6、清洗节拍:5min/框(可调)

  3-1-7、清洁、干燥要求:目测无明显污染物,表面无有机物和颗粒,无花片,迹

   3-1-8、连续工作时间:24小时

   3-1-9、上、下料方式:手动上下料

   3-1-10、清洗物流方向:左进右出 和右进左出两种形式,各三台

   3-1-11、清洗合格率:≥99.8%

3-2、设备使用条件:

3-2-1、电源:380V±5%,频率50Hz,三相五线制

3-2-2、总功率:约121KW

3-2-3、水源: 1"市水进水,2"纯水进水,用量约1.5吨(每小时)

3-2-4、气源:1/2"压缩空气进口,压力约0.5Mpa,用量6m3/h

3-2-5、温度和湿度:环境温度:-5~50℃,相对湿度:≤80%

3-2-6、管路:全不锈钢管路,进、排液为不锈钢球阀;2个2〃排污,1个2〃主进水口,1个1〃市水进水口,

3-2-7、噪声:≤80dB

4. 工艺流程

4-1,清洗流程:上料(浸泡)→超声清洗(摆动+加热+鼓泡)→超声洗剂脱脂(摆动+加热+鼓泡)→RO水超声波漂洗(摆动+加热)→超声波洗剂脱脂(摆动+加热)→超声波洗剂脱脂(摆动+加热)→RO水超声波漂洗(摆动+加热)→RO水超声波漂洗(摆动+加热)→RO水超声波漂洗(摆动+加热)→下料

4-2,工艺配置表

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