在线微量湿度异动变送器Pura Plus

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在线微量湿度异动变送器Pura Plus

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浙江奥力星电子有限公司

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详细信息

 

在线微量湿度异动变送器Pura Plus
品牌:密析尔
产地:英国
湿度变送器Pura Plus产品简介
新型的Pura Plus密析尔Pura Plus是一款在线微量湿度异动变送器,多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应zui末端,用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂,涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后,会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入,影响下游使用。而安装在分布系统中Pura Plus能够提供快速的响应指示,在20 ppb湿气级别下1 ppb的异动的响应时间小于1 分钟。仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的需求变化而特殊设计的。
湿度变送器Pura Plus产品特点
对ppb级别湿度异动的快速响应 
高灵敏度 ,实时监测
多点测量安装的全新概念
小巧经济
信号灯式的状态指示
警告和报警点设置可编程
Modbus 网络兼容
远程控制界面的多通道软件
(UHP) 超纯气体的管线检测
湿度变送器Pura Plus技术参数
响应速度      :<1 分钟 20 ppb 湿气变动1 ppb 的响应时间
湿度量程      :1 ppb to 20,000 ppm
压力范围      :0 to 10 bar
耐压等级      :300 bar
泄漏测试      :0-9 mbar l/s
工作流量范围:1 ~ 10 l/min
工作温度      :5 ~ 40°C
存储温度      :30 ~ 70°C
           :20 ~ 28 V DC
           :5 W zui大
外部保险丝等级:500 mA 快熔型
数据输出      :Modbus ASCII 两线 RS485
警告和报警输出:2 路
zui大电压      :40 V DC
zui大电流      :100 mA
外壳材质      :不锈钢 AISI 316L, 内表面电抛光 <10 Ra
传感器结构 :氧化铝电解质, 上层镀金保护, 下层铝层
内部容积      :4.4cm³
           :450g
气路接口      :1/4" m VCR
电气接口      :9 - 针 D - 型 m 接口
电磁兼容性 :EN50081-2 和 EN50082-2
 

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