三坐标测量仪是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量机或三坐标量床。三坐标测量仪又可定义“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。

　　固定桥架型三坐标测量仪介绍：

　　固定桥架型，轴为主轴在垂直方向移动，厢形架导引主轴沿着垂直轴的水平横梁上做方向移动。桥架(支柱)被固定在机器本体上，测量台沿着水平平面的导轨作轴方向的移动，且垂直于和轴。每轴皆由马达来驱动，可确保位置精度，此机型不适合手动操作。

　　单支柱移动型三坐标测量仪介绍：

　　单支柱移动型，轴为主轴在垂直方向移动，支柱整体沿着水平面的导槽在轴上移动，且垂直轴，而轴连接于支柱上。测量台沿着水平面的导槽在轴上移动，且垂直轴和轴。此型测量台面、支柱等具很好的刚性，因此变形少，且各轴的线性刻度尺与测量轴较接近，以符合阿贝定理。

　　柱式桥架型三坐标测量仪介绍：

　　柱式桥架型，与床式桥架型式比较时，柱式桥架型其架是直接固定在地板上又称为门型，比床式桥架型有较大且更好的刚性，大部分用在较大型的三坐标测量仪上。各轴都以马达驱动，测量范围很大，操作者可以在桥架内工作。

　　三坐标测量仪机型介绍：

　　结构型式：三轴花岗岩、四面全环抱的德式活动桥式结构

　　传动方式：直流伺服系统 预载荷高精度空气轴承

　　长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.1μm

　　测头系统：雷尼绍控制器、雷尼绍测头、雷尼绍测针

　　机 台：高精度（00级）花岗岩平台

　　使用环境：温度(20±2)℃，湿度40%-70% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h

　　空气压力：0.4 MPa - 0.6 Mpa

　　空气流量：25 L/min

　　长度精度MPEe： ≤2.1 L/350 (μm)

　　探测球精度MPEp： ≤2.1μm

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