Local Scrubber尾气处理设备 尾气处理装置
- 型号
- 参数
- 加工定制:否
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格林斯达环保集团是一家集环保咨询、研发设计、加工制造、设备销售、系统集成、智慧运维于一体的废气处理解决方案提供商。格林斯达（北京）环保科技股份有限公司成立于2009年，是一家走在世界环保领域前端的国家高xin技术企业，专注于半导体集成电路、泛半导体等行业废气治理，为客户提供全生命周期的个性化废气处理解决方案。2016年成立全资子公司，并取得环保专业承包及机电安装专业承包资质，2018年成功挂牌新三板(gu票代码：873139)，2019年上海分公司成立，迅速占领华东市场，2021年生产研发基地及深圳分公司成立，2022年制程排气系统公司成立，进军华南市场的同时，自主研发及生产智能环保设备。
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等离子水洗Local Scrubber设备，用于去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺制程中使用或产生的PFC温室气体和有毒有害气体，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
LOCAL SCRUBBER工作原理
通过直流电源，使工作气体（氮气）进入等离子体反应器，在正负极qiang电流的作用下，被电离成等离子体，瞬间产生巨大的火焰，产生的高温火焰将废气分解。
LOCAL SCRUBBER设备优势
1、去除效率高，不需要燃料和热源，耗能低；
2、处理高沸点废气，应用范围广；
3、高温、反应速度快；
4、设备占地面积小、便于安装。
本装置的直流电弧等离子体为非转移型，两电极区域不参与反应，只产生等离子体，产生的火焰温度可达3000度以上。
等离子反应器的MTBF大于1年，反应室内腔的材质耐热和耐腐，具有四个进气口，装置具备冷却区、喷淋区及两级填料除雾区，对PFC温室气体的去除效率>90%。
LOCAL SCRUBBER性能参数
除效率 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm MTBF >6months; MTTR<1.5hr cpvc="">1year 尺寸（mm） 800*800*1850 进气口 NW50*4 耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95% 水量<4slm
LOCAL SCRUBBER生产厂家
格林斯达环保集团，工艺废气治理系统解决方案提供商，提供废气治理一站式服务（方案规划设计、设备生产及安装、系统运行调试、智慧运维）。如您有Local Scrubber采购需求，即刻联系我们吧！
