RTO炉(蓄热式废气焚烧炉)

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RTO炉(蓄热式废气焚烧炉)

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半导体废气处理(半导体废气治理系统设备品牌公司)

格林斯达环保集团是一家集环保咨询、研发设计、加工制造、设备销售、系统集成、智慧运维于一体的废气处理解决方案提供商。格林斯达(北京)环保科技股份有限公司成立于2009年,是一家走在世界环保领域前端的国家高xin技术企业,专注于半导体集成电路、泛半导体等行业废气治理,为客户提供全生命周期的个性化废气处理解决方案。2016年成立全资子公司,并取得环保专业承包及机电安装专业承包资质,2018年成功挂牌新三板(gu票代码:873139),2019年上海分公司成立,迅速占领华东市场,2021年生产研发基地及深圳分公司成立,2022年制程排气系统公司成立,进军华南市场的同时,自主研发及生产智能环保设备。



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RTO炉工作原理

蓄热式热氧化器采用热氧化法处理中低浓度的有机废气,用陶瓷蓄热床换热器回收热量。其由陶瓷蓄热床、自动控制阀、燃烧室和控制系统等组成。其主要特征是:蓄热床底部的自动控制阀分别与进气总管和排气总管相连,蓄热床通过换向阀交替换向,将由燃烧室出来的高温气体热量蓄留,并预热进入蓄热床的有机废气;采用陶瓷蓄热材料吸收、释放热量;预热到一定温度(≥760℃)的有机废气在燃烧室发生氧化反应,生成二氧化碳和水,得到净化。典型的三床式RTO主体设备由一个燃烧室、三个陶瓷填料床、管道和九个风向切换阀、一个补新风阀、一个废气主控阀组成。该装置中的蓄热式陶瓷填充床换热器可使热能得到z大限度的回收,热回收率大于95%;处理VOC时不用或使用很少的燃料。


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RTO炉工艺流程

沸石转轮系统:生产过程排放的尾气进入沸石转轮吸附,吸附后的洁净气体经烟囱达标排放,沸石转轮废气入口处设置过滤器,去除废气中的颗粒物。冷却气通过沸石转轮冷却区预加热后再经过热交换器升温zhi所需的脱附温度,进入沸石转轮的脱附区,脱除吸附在分子筛内的有机组分。


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RTO系统:脱附后的废气由脱附风机加压进入RTO炉,通过阀门切换,轮流执行A/B/C槽进气排气操作。RTO炉中采用燃气燃烧器对废气进行加热,使燃烧室温度控制在800℃左右,确保VOCs氧化完quan,经高温氧化处理后的废气经蓄热层回收热量后经烟囱达标排放。


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RTO炉生产厂家

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