设备概览

基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪，具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析，空间分辨率＜ 800nm （典型值），也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件，可对数据进行拟合计算，直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定，重复性好，可用于实验室检验或者产线监测。

① 光路接口盒：

内置常用激光器及激光片组，拓展激光器包含自由光及单模光纤输入；

② 光路转向控制：

光路转向控制可向下或向左，与原子力、低温、探针台等设备连用，可升级振镜选项

③ 明视场相机：

明视场相机代替目镜

④ 显微镜：

正置科研级金相显微镜，标配落射式明暗场照明，其它照明方式可升级

⑤ 电动位移台：

75mm*50mm 行程高精度电动载物台，1μm 定位精度

⑥ 光纤共聚焦耦合：

光纤共聚焦耦合为可选项，提高空间分辨率

⑦ CCD- 狭缝共聚焦耦合：

标配CCD- 狭缝耦合方式，可使用光谱仪成像模式，高光通量

⑧ 光谱CCD：

背照式深耗尽型光谱CCD相机， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%

⑨ 320mm 光谱仪：

F/4.2高光通量影像校正光谱仪， 1*10-5 杂散光抑制比

SPM300 半导体参数测试仪主要应用

选型表

系统参数

测试案例举例