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RV/RV.S系列 fujikura-control真空调节器 流量调节器
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fujikura-control真空调节器RV/RV.S系列
fujikura-control真空调节器RV/RV.S系列
■高精度控制
灵敏度0.13kPa(1mmHg)和±0.3kPa(2.2mmHg)以内的重复精度
是可能的。
■优良的压力特性
设定压力的波动在1.3kPa (10mmHg) 以内,相对于初级压力波动。
■大流量型 最大
流量可达270l/min(标准),可用于大流量用途。
■响应性好
对二次侧的压力变动反应灵敏。
■适用于需要高精度、高流量真空控制的应用
支持高精度控制的真空调节器。
(比RV系列更紧凑。)
配管尺寸:对应Rc1.4。
■高精度控制
可实现灵敏度为0.13kPa(1mmHg)、重复精度为0.3kPa(2.2mmHg)的高精度真空控制。
■优良的压力特性
设定压力的波动在1.3kPa (10mmHg) 以内,相对于初级压力波动。
■大流量型 最大
流量可达270l/min(标准),可用于大流量用途。
■响应性好
对二次侧的压力变动反应灵敏。
■适用于需要高精度、高流量真空控制的应用。
■ 仕 様項 目 型 式 RV・S-1-2 RV-1-2 RV-1-3使 用 流 体 圧縮清浄空気圧力設定範囲感 度繰り返し再現性使用温度範囲流 量配管接続口径ブ ラ ケ ッ ト質 量kPa(mmHg)kPa(mmHg)kPa(mmHg)℃ℓ/min(ANR)Rckg■ 仕 様1.3~ 100( 10~ 750)0.13(1)± 0.3以内5~60基 本 型 式RV・SRV配 管 接 続 口 径2 Rc 1/4RV 3 Rc 3/8(注)1 2(注)RVのみ適用200 2701/4 3/8標準装備0.5 0.65