azbil压力表型号 V8C/V8SV8 

azbil压力表型号 V8C/V8SV8 

V8 型蓝宝石隔膜真空计通过使用应用 MEMS 加工技术的传感器提高了抗沉积性。
受压部分采用机械性能优异、耐腐蚀、耐热的单晶蓝宝石，V8S的最高工作温度为250℃。

通过提高抗沉积性减少停机时间

通过应用MEMS加工技术，偏移量提高到原来的1/10。

应力平衡结构
压力传感部分外圆周的厚度
抵消了外圆周与中心部分的应力平衡，使
压力传感部分不易变形，减少零点漂移。

通过对凹凸不平的传感器
压力传感部分表面进行凹凸处理，
将附着的薄膜分开，降低沉积物的应力作用。

可在高达 250°C 的温度下使用，与高温工艺气体兼容

对于 V8S，我们通过分离基板和传感器并审查所用材料，实现了 250°C 的最高工作温度。

由于小型化而减少占地面积

我们提高了内部元器件的空间效率，体积减少了 40%。（与我们的传统产品相比）

蓝宝石隔膜压力表型号 V8C/V8S

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