X Y测量行程（mm）

200*100

300*200

400*300

500*400

600*500

Z轴行程

有效空间245mm，调焦范围200mm，工作距离95mm

工作台尺寸

350*250

450*350

550*450

700*600

800*700

玻璃台尺寸

230*130

330*230

430*330

530*430

630*530

三轴传动

光杆传动

光栅分辨率

0.0005mm

测量精度

≤3μm±L/200 重复精度≤2μm

影像倍率

0.7-4.5定格镜头 15-150倍可调

光源系统

表面光源与投射冷光源、二环八区可调

仪器外形

700*850*1650

800*900*1650

900*1050*1650

1000*1150*1650

仪器重量

330kg

400kg

550kg

650kg

电脑配置

主流机型，双核处理器、固态硬盘、19吋液晶显示器、WIN7系统

可选配件

0.5X 2X物镜

影像测高(Z轴加光栅)

Z轴自动

探针测头

1

CCD

高分辨率彩色1/3” CCD 780TVL（WM）

个

1PC

2

镜头

连续变倍高清镜头0.7X-4.5X

套

1PC

3

测量软件

专业WM测量软件

套

1PC

4

光栅尺

X/Y/轴0.0005mm（0.5um) 高精度

套

1PC

5

光源

5环8区表面光源+透射光源LED

个

1PC

6

数据处理器

WM控制器

个

1PC

7

导轨

进口 (中国台湾上银）精密交叉导轨

副

3PC

8

光杆

X/Y轴光杆传动，Z轴光轴传动.

条

3PC

9

机器平台

00级花岗岩大理石工作台

套

1PC

10

基座

00级花岗岩大理石

套

1PC

11

立柱

00级花岗岩大理石

套

1PC

12

视频采集卡

2000

个

1PC

13

防尘罩

无尘防尘罩

个

1PC

14

控制电脑

详见“电脑配置表”

套

1PC

15

软件

个

1PC

16

光学校正片

光学校正片

个

1PC

17

仪器工作桌

电脑仪器桌

张

1PC

18

用户手册

用户手册

本

1PC

19

软件使用说明书

软件说明书

本

1PC