产品概述

       采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

       该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，不用温度压力补偿。

产品特点

1、产品集成度高，集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体，并可实现自动调节、控制阀门。

2、μf微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产和材料加工技术，使流量计的微流量测量灵敏度提升。

3、微小流量气体测量，ml/min级的微流量测控，实现微小流量测量的数字化。

4、单个芯片的流量特性的微处理技术，使流量计的量程范围提高。

5、机电—体化优化设计，智能化的数据处理技术，使流量计具有好的重复性，实现了计量的准确。

5、结构的优化，MFM流量计的压力损失达到小化。

6、采用MF传感技术，使流量计工作稳定。

7、零点自校功能，测量准确。

8、多种气体实际标定，全量程补偿。

9、快速响应、数据自动存储，配合上位机可实现网络集中管理。  

10、规格全，量程范围宽，可根据用户要求单独标定。

11、精度等级高。

12、流量计报警功能，使监控可靠。

13、操作、设置界面友好、简便，可根据需要自行设定相关参数。

      14、运用行业多，是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的选择。

产品参数

测量介质：各气体（乙炔气和混合气体除外）

流量范围：  DN3 10-100ml/min  

            100-1000ml/min

            DN4   250-2500ml/min

            DN6   1000-10000ml/min

            DN8   1500-15000ml/min

            DN10  2500-25000ml/min   

            DN18   10-100SLM       

            注：(a)以上 流量的测量介质为空气而言;

(b)以上 流量的标准状态20℃，101.325kPa。

(c) 每个口径量程范围均可扩大

(d)特殊需要可联系厂家单独标定

2.3   流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4   工作温度范围：0-55℃；

2.5   工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6   供电电源：24VDC±10%；

2.7   输出信号：4-20mA，RS485通讯；

2.8   环境温度：0-55℃；

2.9   显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。 

服务介绍

1、对本公司产品实行负责制，提供技术支持和技术服务；

2、对产品质量实行三包，质保期3年；

3、免费对用户的工程技术人员就产品的使用、维护及一般的故障处理等方面进行培训；

4、指导客户安装调试；

5、定期对用户进行回访和技术交流；

6、优先对项目用户提供产品和技术交流；

7、免费提供产品资料和说明书。