货号

CS-3200S4

 
 
测量范围/ 分辨力

X 轴

100mm/0.05µm

 
Z1 轴 (检出器)

5mm/0.08µm

0.5mm/0.008µm

0.05mm/0.0008µm

Z2 轴 (立柱)

1 µm

精度
(20ºC)

X 轴

±(0.8+0.01L) µm (L= 测量长度(mm))

Z1 轴 (检出器)

±(1.5+|2H|/100) µm  H = 水平位置上的测量高度 (mm)

 
 
 
 
 
驱动部

直线度 (X 轴)

正常使用下

0.2µm/100mm

当伸出到大程度

0.4µm/100mm

测量速度

表面粗糙度测量

0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s (4-step)

轮廓测量

0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0mm/s (7级)

驱动速度

X 轴 (水平方向)

0 to 80mm/s 外加手动

Z2 轴 (垂直方向)

0 to 20mm/s 外加手动

上/下移动

300mm (电动)

倾角范围

±45º

 
 
 
检出器

检出方式

差动感应

测力

0.75mN

测针名称

标准测针 (用于粗糙度/轮廓测量)

针尖角度: 60º 圆锥, 针尖半径: 2µm, 金刚石针尖

圆锥型 (用于轮廓测量)

针尖角度: 30º 圆锥, 针尖半径: 25µm, 蓝宝石针尖

测针上/ 下运作

适用 (可在半空停顿)