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D07-7B型气体质量流量控制器
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详细信息
流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
详细参数
标准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 标准温度………………0℃（273.15K） 标准压强………………101325Pa 输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA 输入设定电压…………0～+5.00V 输出电压检测…………0～+5.00V 产品技术指标 满量程流量范围（N2） 5SCCM～10SLM/MIN 控制范围 2～100％F.S. 阀类型（及阀初始状态） 电磁调节阀（常闭） 准确度 ±1.5％F.S. 线性 ±0.5～1.5％F.S. 重复精度 ±0.2％F.S. 响应时间 ≤7sec 工作温度范围 5～45℃ 工作压差 0.1～0.5MPa 耐压 3MPa 漏气率 1×10-8atm.cc/sec He 通道湿材料 316L不锈钢、密封材料 静密封材料 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶） 电连接器 D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTMmale 动密封材料 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯） 接头选择 VCR 1/4” Swagelok 1/4”或φ6、φ3 重量 1.1Kg
输入和输出:
