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TFALD-201 technofine沉积装置 原子层沉积 压力控制 流量控制 干燥设备
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technofine沉积装置 原子层沉积 压力控制 流量控制TFALD-201
technofine沉积装置 原子层沉积 压力控制 流量控制TFALD-201
模型 | SD-20S |
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工作尺寸 | 20 平方毫米 |
最大转速 | 3500转 |
界面 | 手动控制无级调节 |
安全机制 | 亚克力罩 |
舞台材料 | 氟树脂 |
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阶段直径 | Ø90mm |
外形尺寸(宽x深x高) | 160×180×150mm |
重量 | 约4公斤 |
输入功率 | AC100V 50/60Hz |
公用事业 | - |
配件 | 操作说明 |
选项 |
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模型 | SD-20SE |
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工作尺寸 | 20mm方板 |
最大转速 | 4000转 |
界面 |
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显示功能 | 带背光的液晶显示器 |
安全机制 | 亚克力罩 |
功能 |
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集成控制器
最大可用于 Ø3 英寸基板
最高转速 3000rpm
最多可同时处理5张
转速监视器
自动停止定时器
加工数据存储功能
模型 | SD-300 |
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工作尺寸 | Ø3" 或更小 |
最大转速 | 3000转 |
界面 | 触控面板 |
安全机制 | 旋转中盖开闭检测停止 |
功能 |
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舞台材料 | 氟树脂 |
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阶段直径 | Ø250mm |
外形尺寸(宽x深x高) | 380×380×435mm |
电源电压 | AC100V 50/60Hz |
公用事业 | 泄油口 x 1 (Rc1/2) |
配件 |
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模型 | SD-300CS |
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工作尺寸 | Ø3" 或更小 |
最大转速 | 3000转 |
界面 | 触控面板 |
安全机制 | 通过开/关传感器自动停止功能 |
功能 |
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舞台材料 | 氟树脂 |
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阶段直径 | Ø250mm |
外形尺寸(宽x深x高) |
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输入功率 | AC100V 50/60Hz |
公用事业 | 泄油口 x 1 (Rc1/2) |