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OPTM otsukael显微镜分光膜厚仪 紫外光谱仪
- 型号
- OPTM
- 参数
- 产地:国产
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深圳九州工业品有限公司，坐落于深圳市，是一家工业品综合服务商。主要包括机电设备、电子产品、仪器仪表、工业器材的销售及其它国内贸易、经营进出口等业务。搭建工业品供应链，采用与 MRO分销商结盟的方式，把零散采购订单集中处理，流程简化，提供一站式供应服务。在美国、德国、日本、韩国、中国台湾建专业国际采购团队、技术顾问、销售团队为各种领域提供各类高品质的工业产品和优质的整合服务。通过与厂家建立快捷、有效的沟通，和众多国外生产厂家建立了长久合作伙伴关系。
详细信息
otsukael显微镜分光膜厚仪OPTM的介绍
otsukael显微镜分光膜厚仪OPTM的介绍
产品信息
膜厚测量范围 1 nm 至 92 μm（SiO 2换算）
薄膜厚度值的高重复性
每点1秒以内的高速测量
图案可瞄准微小点（最小Φ3μm）
适用于图案化晶圆的膜厚测绘
可以获取用于图案对齐的图像
除了可以进行高精度薄膜分析的分光椭圆偏光法外，它还通过实现自动可变测量角度机构来兼容所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法外，还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机构提高了测量精度。 |
可在紫外-可见（300 至 800 nm）波长范围内测量椭圆参数
能够分析纳米级多层薄膜的膜厚
通过 400 通道或更多通道的多通道光谱快速测量椭圆光谱
支持通过可变反射角测量对薄膜进行详细分析
通过创建光学常数数据库和添加配方注册功能提高可操作性
椭圆参数（tanψ，cosΔ）测量
光学常数（n：折射率，k：消光系数）分析
膜厚分析
半導体ウェーハ
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光学定数(波長分散)化合物半導体
AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコンFPD
配向膜各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜光学薄膜
TiO2，SiO2，反射防止膜リソグラフィー分野
g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価
