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GF80 系列 Brooks Instrument GF80 系列金属密封热质量流量控制器和仪表
- 型号
- GF80 系列
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上海晋普实业有限公司是一家综合性公司,主要业务：代理经销世界,为国内厂家提供国外工控,自动化设备和仪器仪表，机械配件。 上海晋普实业有限公司直接欧美进口，避开国内总代理，为您低价购入产品，通过在德国的拼货仓库，拼单发货，并集中办理手续，为您节省运费和清关等费用，通过健全的物流程序,每周至少空运发货一次,为您缩短货期，给您不同的选择。我公司以规范的管理，流程化的采购模式，健全的物流配套，完善的售后,竭诚为你服务。 本公司具有丰富的海外采购经验，尤其擅长欧美工业产品采购，价格合理、服务周到，特别是一些流量计、真空泵产品的采购，同时我公司能承担大型进口设备及配件的进出口代理业务，为客户提供准确、快捷、完善的现代工业供应链整合服务。
详细信息
特点
长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
1 秒内稳定
满量程流速高达 300 slpm
全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面处理
耐腐蚀 Hastelloy® 传感器可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体
可编程 MultiFloTM 功能 - 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
通过有源温度补偿实现的温度系数规范
内嵌式常规自检功能和独立的诊断/维护端口
带有 VCR 配件的细线体设计
DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模拟接口
优势
1 秒完成流量稳定，消除废气和过程变量影响
未采用会发生氧渗透并且使用一定时间之后需要进行更换的弹性体密封件
MultiFloTM 精简了过程气体切换操作 — 无需再拆除并重新校准 MFC
60 秒内即可完成新气体和/或量程的设定操作
测量精度不受温度变化影响
可轻松访问诊断端口以实现运行时间
规格紧凑，可轻松集成至紧张的设备空间内；设备改型的选择
多协议通信接口可简化向现有系统的集成操作
应用
对翻新后的半导体加工工具中的原有 MFC 进行经济高效的改型/升级
减少六英寸/八英寸半导体工厂的 MFC 库存
用于 LED 和功率器件生产的 MOCVD
太阳能/薄膜化学气相沉积 (CVD) 系统
分析用 OEM 设备
