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EX250S-RJ系列-小体积高精度气体质量流量控制器
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详细信息
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| EX250S-RJ系列质量流量控制器-数字式 | ||
| 量程(N2) | 0-10、30、50、100、300、500SCCM 0-1、3、5、10SL.M(可定制o-5sccM) 满量程可切换30~99% | ||
| 气体 | 非腐蚀气体 | ||
| 精度 | +1.0KSP (>30FS);0.3%6Fs(30FS) | ||
| 重复性 | 士0.25FS | ||
| 有效范围 | 2-99% | ||
| 响应时间 | 1秒以内 | 1.5秒以内 | 2秒以内 |
| 耐压 | 1.0Mpa | ||
| 进口压力 | 0.5Mpa | ||
| 工作压差 | 0.05-0.3Mpa | ||
| 泄漏率 | 1+10-8pa - m2/s以下 | ||
| 温度范围 | 5~50℃ | ||
| 精度保证温度 | 15~35℃ | ||
| 保存温度 | -10~60℃ | ||
| 湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) | ||
| 材质 | 本体SUS316、SuS316L | ||
| 密封圈VITON、NBR、PTFE | |||
| 电气接口 | DB9 | ||
| 通讯接口 | RS485 (Modbus-RTU)RJ45接口 | ||
| 输入信号 | 0-5V或4-20mA可选 | ||
| 输出信号 | 0-5V或4-20mA可选 | ||
| 供电 | +24VDC或±15VDc可选 | ||
| 消耗电路 | 300mA | ||
| 尺寸 | 76+30+76MM | ||
| 管路连接 | 标配1/4F9 | ||
| 选配1/8F9、1/4IJR、RC1/4 | |||
| 重量 | 约500g | ||
DB9针脚定义：
| 针脚/颜色 | 定义 |
| 1针脚/棕色 | 阀门全开/全闭 |
| 2针脚/白色 | 0-5V输出 |
| 3针脚/红色 | +15VDC或+24VDC |
| 4针脚/黑色 | 电源COM |
| 5针脚/黄色 | -15VDC 或 空 |
| 6针脚/灰色 | 0-5V输入 |
| 7针脚/绿色 | 输出COM |
| 8针脚/兰色 | 输入COM |
| 9针脚/紫色 | 空 |
RJ45针脚定义：150SLM以下(通讯用)
| 针脚 | 定义 |
| 1针脚 | 485COM |
| 2针脚 | 485COM |
| 3针脚 | 空 |
| 4针脚 | 485- |
| 5针脚 | 485+ |
| 6针脚 | 空 |
| 7针脚 | 空 |
| 8针脚 | 空 |
二:用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三:安装前请将设备管路进行整体吹扫。
四:耐压1.OMpa，进口压力5公斤。
五:需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下再操作。
