等离子废气净化器是一种干法处理废气的净化设备，它采用低温等离子体技术分解废气，无原料消耗，不产生二次污染，日常维护保养简便，是一种新型的废气处理设备。广泛适用于喷涂废气、印刷废气、化工废气、制革业废气、塑胶造粒废气、垃圾中转站废气、污水处理厂废气等各类工业废气的净化处理。

等离子废气净化器主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的高能电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、高强度、高能量的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。

工作原理：

等离子废气净化器采用高压发生器形成低温等离子体，等离子体是继气态、液态、固态之后的物质第四态。当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态。等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。在平均能量约5eV的大量电子作用下，通过净化器的苯、甲苯、H2S、CS2、SO2等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、S、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。

等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：

①电场＋电子→高能电子

②高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团

③活性基团＋分子(原子)→生成物+热

④活性基团＋活性基团→生成物+热

从以上过程可以看出，电子 先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。