在线式X射线荧光分析仪

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深圳海创德科技有限公司成立于2012年,由数位理工科博士创办,团队成员均为理工科博士和硕士,具有高水平的专业水准。公司致力于半导体微加工及分析设备的销售和安装服务,产品覆盖薄膜制备,物性测量和表面分析。经营的主要产品如下:1. 磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发、PECVD、LPCVD、ALD、RIE、ICP、RTP、涂胶机和热板等薄膜技术相关的设备;2. 美国Kimball Physics的电子枪、离子枪、真空腔体和荧光屏等部件;美国OCI的LEED和AES等各种真空组件;美国MicroXact的真空、低温和磁场等数种探针台;3. 我们还提供上述设备的配套部件及耗材,如直流和射频电源、靶材、探针、光刻胶和ALD耗材等。我们的产品性价比高,品质精良,性能*,在欧美及中国台湾地区具有的口碑,国内众多的科研院所和大学均对我们的产品报以好评。我们期待以优质的产品,良好的服务和专业的技术为更多的客户提供解决方案!期待与您的合作!

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SMX-ILH的热屏蔽技术可使热基板在高达300˚C下实时进行X射线荧光数据采集,减少面板的停留时间,提高加工能力。由于采用一个专门设计的Z轴高度调节功能装置,该系统能够适应大型面板中经常出现的平面性差异(弓起和卷曲)等问题,从而进一步提高了测量精度和结果,尤其是在较高的温度下。


  • 成分和层厚分析
  • 材料选择,薄层配方
  • 在线及离线过程控制
  • 良率管理


应用领域:


  • 光伏制造过程
  • 微电子制造
  • 防腐蚀涂层
  • 热障涂层
  • 能源(CIGS, CIS,电池)




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