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直接驱动电动位移台
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详细信息
8MTL系列电动平移台采用三相无铁无刷伺服电机技术，可通过高精度，可重复性和低摩擦力实现零间隙运动。线性非接触式光学编码器可确保以亚纳米级的运动分辨率直接控制位置。氧化铝合金保证了高温稳定性，8MTL仪器的柔软性和优异的长周期运动学，无导向系统漂移。该平台占地面积小，可将其集成到高密度机器和狭小空间应用中，且可用于超净室和真空（高达10-3 Torr）应用。
8MTL1301-170
| 型号 | 8MTL1301-170-LEn1-025 | 8MTL1301-170-LEn1-050 | 8MTL1301-170-LEn1-100 | 8MTL1301-170-LEn1-200 |
| 行程 | 170 mm | |||
| 编码器类型 | Optical Encoder | |||
| 编码器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm |
| 编码器光栅周期 | 20 µm | |||
| 精度: |
| |||
| 校准前 | ±5 µm | |||
| 校准后 | ±1 µm | |||
| 双向重复精度(峰峰值) | ±0.15 µm | |||
| 双向重复精度(RMS) | ±0.10 µm | |||
| 速率(载重4kg) | <2000> | |||
| 载重(置于中心) | 30kg | |||
| 重量 | 4.1kg | |||
8MTL1401-300
| 型号 | 8MTL1401-300-LEn1-025 | 8MTL1401-300-LEn1-050 | 8MTL1401-300-LEn1-100 | 8MTL1401-300-LEn1-200 |
| 行程 | 300 mm | |||
| 编码器类型 | Optical Encoder | |||
| 编码器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm |
| 编码器光栅周期 | 20 µm | |||
| 精度: |
| |||
| 校准前 | ±5 µm | |||
| 校准后 | ±1 µm | |||
| 双向重复精度(峰峰值) | ±0.15 µm | |||
| 双向重复精度(RMS) | ±0.08 µm | |||
| 速率(载重4kg) | <2000> | |||
| 载重(置于中心) | 30kg | |||
| 重量 | 6.75kg | |||
8MTL165-300
| 型号 | 8MTL165-300-LEn1-025 | 8MTL165-300-LEn1-050 | 8MTL165-300-LEn1-100 | 8MTL165-300-LEn1-200 | |
| 行程 | 300 mm | ||||
| 编码器类型 | Optical Encoder | ||||
| 编码器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm | |
| 编码器光栅周期 | 20 µm | ||||
| 精度 | 校准前 | ±10 µm | |||
| 校准后 | ±1 µm | ||||
| 双向重复精度(峰峰值) | ±0.5 µm | ||||
| 双向重复精度(RMS) | ±0.24 µm | ||||
| 速率(载重4kg) | <2000> | ||||
| 载重(置于中心) | 50kg | ||||
| 重量 | 13.5kg | ||||
8MTL220
| 型号 | 8MTL220-400-LEn1 | 8MTL220-600-LEn1 | |
| 行程 | 400 mm | 600 mm | |
| 编码器类型 | Optical Encoder | ||
| 编码器分辨率 | Any of the range: 25 nm to 5 µm (on demand) | ||
| 编码器光栅周期 | 20 µm | ||
| 精度 | 校准前 | ±10 µm | ±12 µm |
| 校准后 | ±1 µm | ±1 µm | |
| 双向重复精度(峰峰值) | ±0.5 µm | ||
| 双向重复精度(RMS) | ±0.26 µm | ||
| 速率(载重4kg) | <2000> | ||
| 载重(置于中心) | 100kg | ||
| 重量 | 37kg | 46kg | |
8MTL120XY
| 型号 | 8MTL120XY-LEn1-025 | 8MTL120XY-LEn1-050 | 8MTL120XY-LEn1-100 | 8MTL120XY-LEn1-200 | |
| 行程 | 120 x 120 mm | ||||
| 编码器类型 | Optical Encoder | ||||
| 编码器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm | |
| 编码器光栅周期 | 20 µm | ||||
| 精度 | 校准前 | ±4 µm | |||
| 校准后 | ±0.5 µm | ||||
| 双向重复精度(峰峰值) | ±0.15 µm | ||||
| 双向重复精度(RMS) | ±0.10 µm | ||||
| 速率(载重4kg) | 1000 mm/s | ||||
| 载重(置于中心) | 30kg | ||||
| 尺寸 | 240 x 360 x 75 mm | ||||
| 重量 | 12.5kg | ||||
8MTLF250XY 型号 8MTLF250XY-2L-2U-4LEn1 8MTLF250XY-1L-2U-3LEn1 8MTLF250XY-2L-1U-3LEn1 8MTLF250XY-1L-1U-2LEn1 行程 250 x 250 mm 编码器类型 Optical Encoder 编码器分辨率 Any of the range: 25 nm to 5 µm (on demand) 编码器光栅周期 20 µm 精度 校准前 ±5 µm ±6 µm 校准后 ±1.5 µm ±2 µm 双向重复精度(峰峰值) ±0.25 µm ±0.5 µm 双向重复精度(RMS) ±0.15 µm ±0.3 µm 发动机数量 4 3 2 速率(载重4kg) 1500 mm/s 载重(置于中心) 30kg 尺寸 746 x 746 x 106 mm 重量 ~ 68 kg
