ANNEALSYS快速热化学气相沉积系统MC-050

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ANNEALSYS快速热化学气相沉积系统MC-050

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上海连航机电科技有限公司

初级会员2年 

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该企业相似产品

电器元件、仪器仪表、环保仪表、工业自动化

上海连航机电科技有限公司是国内专业的进口机电产品与技术集成服务商。公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件,提供过程控制技术咨询,工业自动化集成设计与改造,成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。

“创新驱动、资源整合、服务护航”是我们的核心发展理念!

为紧跟工业科技发展步伐,保障全产业链一体化工业服务水平,连航分别在德国和美国设有公司和仓储中心,自此建立了对欧美*工业品与*工业技术大规模引进的高速通道。凭借*的采购能力和工厂直采加产品集散带来的二度成本压缩,连航扩大了在业内的优势,终端服务效率与水平与日俱增。

*以来,连航始终注重于构建*的信息管理平台,以此聚合资源,拉近与客户及欧美工业厂家的距离。同时,连航还致力于对技术、营销、服务团队的专业打造,强化产品与技术的推广及服务能力,以规范高效的管理与强大的执行力推进业务发展。

目前,数以千计的欧美基础工业品牌正通过连航布局的体系将产品和技术落地中国。越来越多的中国工业企业开始并持续受惠于连航*的资源优势、技术优势和服务优势。连航的行业竞争地位也在给客户持续带来价值的同时日趋显著。

我们的业务所涉及的产品品类众多、应用广泛,同类可互换产品选择多样化,专业技术团队和*团队可以满足客户关于产品选购、技术支持、项目集成等*的需求。主要产品品类有:物理参数检测测量、自动化与工业IT、液压、气动、分析仪器、实验室设备、制动传动设备、电器元件、机床、工具、物流设备、工业机器、成套设备等。

我们*供应和服务的客户广泛分布于全国各大地区与行业,主要有:汽车制造、机械设备制造、电力、石化、采矿、钢铁、有色金属、电气仪表制造、食品饮料、橡胶制品、医药生产、造纸、纺织、印刷、水泥、玻璃、环境设备、*等。

“勾连世界、未来”,连航誓为推进中国工业质量现代化,为加速中国工业从传统工业向现代工业和智慧工业的转型不断创新,不断供应优质资源,不断提升服务水平,不断贡献力量!





详细信息

带灯加热的直接液体喷射汽化器使 MC-050成为一种的机器,具有像集群工具一样的多工艺能力,但在一个单一的工艺室内。

Annealsys MC-050系统是为满足研发单位的要求而开发的2英寸DLI-CVD/DLI-ALD反应器。

红外灯炉与直接液体注入蒸发器相结合,在同一工艺室内提供的多工艺能力:CVD、ALD、MOCVD、RTP 和 RTCVD。

直接液体注入 (DLI) 蒸发器可控制前体流量,并允许使用低蒸气压和稀释的化学前体。与旁通阀相关的前体蒸汽流的快速切换为纳米层压板的沉积提供了界面控制。

MC-050是使用广泛的固体和液体有机金属前体开发新材料和纳米层压材料的机器。

MC-050 可以使用广泛的有机金属前体进行化学气相沉积和原子层沉积工艺,同时提供原位退火功能。

  • 气体混合能力与质量流量控制器
  • 6个汽化器
  • 手套箱装载选项
  • 可选择高真空能力

MC-050可配备6个直接液体注入蒸发器和两个用于高蒸气压前体的起泡器。

  • 高温计温度控制
  • 粗真空泵、涡轮泵
  • 手套箱接口和手套箱
  • 远程等离子
  • 臭氧发生器
  • 基板尺寸:直径可达2英寸
  • 温度范围:室温至 1100°C
  • 电压:3x400V+N+Gr/3x220V+Gr
  • 功率:21千瓦
  • 水:2至4巴,压降1巴,8升/分钟
  • 压缩空气:6巴(阀门驱动)
  • 真空范围:大气压至 10-3 Torr
  • 产地:法国

MC-050提供了广泛的新材料开发能力,包括单金属氧化物和多金属氧化物以及过渡金属●二硫化物 (TMD) 和其他二维材料。

  • 简单和多金属氧化物
  • 金属、氮化物和合金
  • III-V,宽带隙半导体
  • 二维材料:石墨烯、氮化硼、MoS2、WS2、MoSe2、WSe2 ...
  • ETC

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