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智能质量流量计 小体积流量控制器 热式气体质量流量计
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西安奥信自动化仪表有限责任公司专业生产及销售各种管道式电磁流量计，插入式电磁流量计，外敷超声波流量计，便携式超声波流量计，手持式超声波流量计，涡轮流量计，涡街流量计，流量积算仪，流量积算仪等。 公司自成立以来就积极推进“以人为本”、“以质量求生存”、“以技术求发展”的企业发展战略，内抓管理，外拓市场，通过ISO9001质量体系认证，合同信用AAA企业证书等。公司先后从国内外引进*的生产设备和流量标定设备，企业依托可靠的质量、精良的设备，*的工艺，产品运用遍及各个行业，如石油化工、造纸、城建、冶金、电力、食品医药、环保、水处理等，部分产品常年出口韩国、日本、中东等地区。 坚持科技是以生产力的理念，竭诚欢迎国内、国际有识之士与我们合作，携手并进，共创辉煌。
详细信息
智能质量流量计 小体积流量控制器 热式气体质量流量计
用途与特点
质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、***和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
主要技术指标
量程范围 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM （0~1,2,3,5,10）SLM
准确度 +1.5%F.S
线性 +0.5~1.5%F.S
重复精度 +0.2%F.S
响应时间 10sec 气特性：（1~4）sec
工作压差 0.1~0.5MPa
耐压 3Mpa 6Mpa 10Mpa
工作环境温度 0~70℃
数字量 RS485 MODBUS 协议
模拟量 DC 0~5V ，4~20mA 可选
电特性：SLM
供电 DC +15V/24V 可选，流量计＜50mA，控制器＜200mA
电气连接 DB15
漏率 1×10 SCCSHe
底座材质 316L 不锈钢
密封材质 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
气路接头 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意: 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定.
质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分);SLM(标准升/分)
智能质量流量计 小体积流量控制器 热式气体质量流量计
